[發明專利]光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置及調整方法

在審

• 申請號: 201810416485.0
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN108681212A
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發明（設計）人: 蘇佳妮;齊月靜;王宇;盧增雄;楊光華;齊威
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 郎志濤

1.一種光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，用于調整傳輸光路系統中的光斑，所述傳輸光路系統包括多個反射鏡裝置，其特征在于，所述輔助調整裝置包括第一輔助架和第二輔助架，所述第一輔助架和所述第二輔助架能夠分別安裝在不同的所述反射鏡裝置上，所述第一輔助架的前端表面設有透光的標記部，所述標記部位于所述第一輔助架的中心，所述第一輔助架的后端設有能夠與所述反射鏡裝置或激光光源相配合連接的第一接口，所述第二輔助架的前端設有反射元件，所述第二輔助架的后端設有能夠與所述反射鏡裝置相配合連接的第二接口，所述激光光源發出的光線能夠穿過所述第一輔助架的所述標記部在所述反射鏡裝置的表面成像形成第一光斑，并且所述第一光斑能夠經所述第二輔助架的所述反射元件反射后返回至所述第一輔助架。

2.根據權利要求1所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述第一輔助架和所述第二輔助架的中心連線豎直或水平。

3.根據權利要求1所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述標記部的形狀為狹長的十字型或米字型。

4.根據權利要求1所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述反射元件為平面鏡或曲面鏡。

5.根據權利要求4所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述反射元件的表面鍍有金屬反射膜。

6.根據權利要求4所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述反射元件可拆卸地安裝在所述第二輔助架的邊框內，所述邊框不透光。

7.根據權利要求1中所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述第一輔助架和所述第二輔助架的形狀相同。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述第一輔助架和第二輔助架為鋁輔助架、不銹鋼輔助架或陶瓷輔助架。

9.一種光刻光源傳輸光路系統的調整方法，所述光刻光源傳輸光路系統的調整方法是根據權利要求1至8中任一項所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置來實施的,其特征在于，包括如下步驟：

S1、利用水平儀調整傳輸光路系統中的每個反射鏡裝置到水平位置；

S2、將第一輔助架放置在光源的出口處，調整第一反射鏡裝置的調整按鈕對第一反射鏡進行粗調；

S3、所述第一反射鏡粗調完成后，將第二輔助架安裝在所述第一反射鏡裝置的光線入口處，調整所述第一反射鏡裝置的調整按鈕對所述第一反射鏡進行精調；

S4、所述第一反射鏡調整完成后，將所述第一輔助架從光源的出口移除，將所述第二輔助架從所述第一反射鏡裝置移除，并將所述第一輔助架安裝在所述第一反射鏡裝置的光線出口處，調整第二反射鏡裝置的調整按鈕對第二反射鏡進行粗調；

S5、所述第二反射鏡粗調完成后，將所述第二輔助架安裝在所述第二反射鏡裝置的光線入口處，調整所述第二反射鏡裝置的調整按鈕對所述第二反射鏡進行精調；

重復步驟S4和S5,依次對傳輸光路系統中的后續反射鏡裝置的反射鏡進行調整，直至傳輸光路系統中的反射鏡裝置全部調整完畢。

10.根據權利要求9所述的光刻光源傳輸光路系統的調整方法，其特征在于，所述步驟S2包括：

將所述第一輔助架放置在光源的出口處，調整所述第一反射鏡裝置的調整按鈕，使光線在第一反射鏡上形成的第一光斑位于第一反射鏡的中心位置；

所述步驟S3包括：

將所述第二輔助架放置在所述第一反射鏡裝置的光線入口處，調整所述第一反射鏡裝置的調整按鈕，使經所述第二輔助架的反射元件反射后投射在所述第一輔助架的不透光部上的第二光斑消失。