[發明專利]一種X射線成像裝置

在審

• 申請號: 201810415054.2
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN108535289A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 魏存峰;劉寶東;舒巖峰;魏龍
• 申請（專利權）人: 中國科學院高能物理研究所
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/044;G01N23/046
• 代理公司: 北京市正見永申律師事務所 11497
• 代理人: 黃小臨;馮玉清

公開了一種X射線成像裝置，該裝置可以包括：轉臺，其設置在底座上并且在被驅動時圍繞豎直方向上的縱向軸線旋轉；探測器，其經由穿過轉臺的中孔的第一支撐結構連接到底座；樣品臺，其經由第二支撐結構連接到轉臺；以及射線源，其設置于經由第三支撐結構連接到底座。該裝置能夠同時支持包括計算機層析成像和計算機斷層成像的多種模式。

技術領域

本公開總體上涉及X射線成像領域，并且具體地涉及一種X射線成像裝置，其能夠同時支持包括計算機層析成像和計算機斷層成像的多種模式。

背景技術

X射線成像已經被廣泛地應用于醫學診斷、工業無損檢測、安檢、科研等領域。醫學診斷用的計算機斷層成像(CT)裝置檢測的對象通常是人或動物，裝置的結構相對固定。相比于醫學檢測，工業CT檢測的對象不固定，用于工業無損檢測的CT成像設備的結構根據不同的檢測需求而不同。

專用于諸如芯片這樣的板狀物體的X射線三維層析成像技術可以在不破壞板狀物體的情況下對板狀物體的內部結構進行三維成像。這樣的計算機層析成像(CL)技術能夠有效地解決在對板狀物體應用計算機斷層成像方法的情況下由于入射的X射線在垂直樣品表面和平行樣品表面兩個方向的光程差異過大而導致的問題。

為了兼容傳統的CT模式并充分地利用現有的射線源和探測器，對于采用CL技術的裝置，往往需要添加額外的橫向轉臺，并且在CL和CT兩種模式之間切換的情況下需要安裝或拆除轉臺。

發明內容

本公開的實施例提供了一種X射線成像裝置，該裝置可以包括：轉臺，其設置在底座上并且在被驅動時圍繞豎直方向上的縱向軸線旋轉；探測器，其經由穿過轉臺的中孔的第一支撐結構連接到底座；樣品臺，其經由第二支撐結構連接到轉臺；以及射線源，其設置于經由第三支撐結構連接到底座。

根據本公開的實施例的X射線成像裝置能夠針對不同的樣品采用不同的成像模式，例如多角度投影成像、CT成像、CL成像等。每種成像模式均能夠自由地調節放大比、成像視野等，從而能夠實現不同的空間分辨率。不同的成像模式可以共用相同的樣品臺支撐結構，從而能夠有效地節約成本，并有利于不同成像模式之間的快速切換。

另外，在根據本公開的實施例的X射線成像裝置中，在CL掃描的過程中，僅轉臺旋轉，運動的自由度低，從而能夠控制和實現高精度的掃描和檢測；而且，還可以通過調節樣品的位置對樣品的任意感興趣區域進行成像，因此具有很高的靈活性。

附圖說明

圖1示出根據本公開的實施例的X射線成像裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖來描述根據本公開的實施例的方法和系統。應當理解，所描述的實施例僅僅是本公開的一部分實施例，而不是全部的實施例。

圖1示出根據本公開的實施例的X射線成像裝置的結構示意圖。如圖1所示，根據本公開的實施例的X射線成像裝置可以包括射線源2、探測器4、轉臺6和樣品臺7。另外，該X射線成像裝置還可以包括控制單元10。

射線源2可以是任何適當的能夠產生例如X射線的裝置。

在一個實施例中，射線源2可以通過相應的控制線或連接線與控制單元10相連，并且可以通過相應的控制線或連接線接收來自控制單元10的控制指令和參數以便產生并發射符合期望要求(例如，具有期望的強度和/或角度)的X射線。在另外的實施例中，射線源2也可以通過無線的方式與控制單元10通信。

射線源2可以通過相應的支撐結構3與裝置的底座1相連。根據不同的實施例，射線源2的空間位置可以是固定的，也可以在三維空間中運動。

相應地，用于連接射線源2和底座1的支撐結構3可以具有固定的形狀或結構，也可以具有諸如機械臂這樣的可變形或可調節的結構。