[發明專利]一種長距離、精準快速取裝芯片裝置

有效

• 申請號: 201810414132.7
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN110444498B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 王敕
• 申請（專利權）人: 蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 彭益波

1.一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，包括晶圓臺和承片臺，所述晶圓臺用于放置晶圓，所述承片臺用于放置載片基板；其特征在于：

在所述晶圓臺和承片臺之間設置第一轉塔和第二轉塔，在所述第一轉塔和第二轉塔周向，等間距設置至少三個吸嘴，用于取出和放置晶圓上的芯片；

在所述第一轉塔和第二轉塔之間設置校正臺，用于在第一轉塔和第二轉塔之間中轉所述芯片；

所述第一轉塔和第二轉塔設置旋轉驅動裝置，用于驅動第一轉塔和第二轉塔在水平方向實現360°的旋轉；

設置垂直運動驅動裝置，用于驅動所述吸嘴在垂直方向上下移動，完成取片和裝片動作；

所述吸嘴朝下，吸嘴設置氣管連接真空發生器，用于取出或放置芯片；

在所述第一轉塔和第二轉塔軸心位置設置孔，氣管穿過所述第一轉塔或第二轉塔、孔后，連接至真空發生器；

所述旋轉驅動裝置通過具有中孔結構的DDR電機或者轉角氣缸驅動；

所述氣管穿過DDR電機連接至真空發生器；

在所述第一轉塔和第二轉塔外周滑動設置滑板，滑板固接連接臂，所述吸嘴設置于連接臂下；

所述垂直運動驅動裝置分別作用于每個滑板，進一步帶動連接臂上下移動；

所述垂直運動驅動裝置與所述旋轉驅動裝置解耦，并通過電機固定架獨立固定在晶圓臺、校正臺和承片臺上方；

在設備頂部設置有轉盤，所述垂直運動驅動裝置通過下述電機固定架獨立固定吊設在頂部轉盤上。

2.根據權利要求1所述的一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，其特征在于，

所述旋轉驅動裝置包括第一旋轉電機和第二旋轉電機，第一旋轉電機作用于第一轉塔，第二旋轉電機作用于第二轉塔；

所述垂直運動驅動裝置采用直線電機，分別作用于第一旋轉電機和第二旋轉電機上，用于帶動第一轉塔和第二轉塔上下移動。

3.根據權利要求2所述的一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，其特征在于，

設置水平移動裝置，水平移動裝置包括第一水平移動裝置、第二水平移動裝置，第三水平移動裝置；

第一水平移動裝置設置于所述晶圓臺下，晶圓臺正上方設置第一視覺定位裝置，用于計算所述晶圓上芯片中心和第一視覺定位裝置的第一位置偏差，并移動晶圓臺，使得所述晶圓上芯片正對第一視覺定位裝置；

所述第一旋轉電機連接設置第二水平移動裝置，用于X、Y方向驅動所述第一轉塔移動，使得第一轉塔上的吸嘴、所述晶圓上芯片、第一視覺定位裝置三點一線。

4.根據權利要求3所述的一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，其特征在于，

所述第二旋轉電機在X、Y方向固定；

所述校正臺上方設置第二視覺定位裝置，且第二視覺定位裝置正對所述第二轉塔上的吸嘴中心，用于計算所述校正臺上芯片中心相對于第二視覺定位裝置的中心偏差距離，

所述校正臺連接設置所述第三水平移動裝置和θ方向驅動裝置，用于在X、Y、θ方向移動校正臺，使得校正臺上的芯片正對所述第二視覺定位裝置的中心。

5.根據權利要求4所述的一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，其特征在于，在所述第一轉塔的吸嘴下方設置上視的第四視覺定位裝置，用于記錄所述第一轉塔上每個吸嘴的相對位置偏差；

所述第一轉塔根據每個吸嘴的相對位置偏差，自主移動，用于精準取片；

所述第三水平移動裝置驅動校正臺沿X、Y方向、和所述第一轉塔同步移動。

6.根據權利要求5所述的一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，其特征在于，

所述水平移動裝置包括：垂直驅動板，水平驅動板，中間體；

所述第一旋轉電機或校正臺固定于垂直驅動板左側面，中間體左側面設置Y方向軌道，垂直驅動板右側面扣合至Y方向軌道上，用于驅動所述第一轉塔或校正臺沿Y方向運動；

所述中間體上側面設置X方向軌道，水平驅動板下側面扣合至X方向軌道上，用于驅動中間體沿X方向運動，進一步驅動第一轉塔或校正臺沿X方向運動。

7.根據權利要求6所述的一種長距離、精準快速取裝芯片裝置，其特征在于，

所述第一轉塔和第二轉塔下分別設置N個吸嘴，其中N≥3，所述第二轉塔上的吸嘴位置和所述第一轉塔上的吸嘴位置交叉，在第一轉塔和第二轉塔的相切位置，第二轉塔上的吸嘴位于第一轉塔上兩個相鄰吸嘴之間；

所述第一旋轉電機和第二旋轉電機旋轉方向相反；所述第一旋轉電機和第二旋轉電機連接設置旋轉角度限制裝置，使得第一轉塔和第二轉塔單次旋轉角度為60°。