[發明專利]一種新型ALD熱井加熱器

在審

• 申請號: 201810409221.2
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN108660439A
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發明（設計）人: 張洪國;王超;尚浩;夏玉明;雷曼;鄭委
• 申請（專利權）人: 滁州國凱電子科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 江蘇斐多律師事務所 32332
• 代理人: 袁敏

1.一種新型ALD熱井加熱器，其特征在于，包括輸出端(1)、內導熱管端蓋(2)、外導熱管(3)、內導熱管(4)、導熱板(5)、外導熱管端蓋(6)、輸入端(7)；所述的內導熱管端蓋(2)位于內導熱管(4)的兩端，與輸出端(1)、輸入端(7)連接；其邊緣與外導熱管(3)內壁連接；所述的外導熱管(3)為圓柱狀；所述的內導熱管(4)置于外導熱管(3)中，包括圓柱管(8)和半圓形切口(9)；所述的導熱板(5)嵌在內導熱管(4)中；所述的外導熱管端蓋(6)通過內圈連接外導熱管(3)，并固定在ALD設備中,連接設備和熱井。

2.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的導熱板(5)包括半圓狀(10)和梯形圓狀(11)。

3.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的ALD熱井加熱器是多塊導熱板(5)相互交叉結構。

4.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的半圓形切口(9)數量至少為9。

5.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的半圓形切口(9)上下兩者之間距離相等。

6.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的導熱板(5)的數量和半圓形切口(9)的數量相同。

7.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的導熱板(5)的厚度和半圓形切口(9)高度相等。

8.根據權利要求1所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的導熱板(5)面積占內導熱管(4)截面積達85％。

9.根據權利要求2所述的新型ALD熱井加熱器，其特征在于，所述的梯形圓狀(11)沿半圓形切口(9)插入內導熱管(4)中，接觸部位點焊連接。