[發明專利]編碼器標尺及其制造方法、編碼器、機器人以及打印機有效
| 申請號： | 201810407213.4 | 申請日： | 2018-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN108801303B | 公開（公告）日： | 2022-03-08 |
| 發明（設計）人： | 小西晃雄;荒川豊 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01D5/347 | 分類號： | G01D5/347;G02B1/02;B25J19/00;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 張永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 編碼器 標尺 及其 制造 方法 機器人 以及 打印機 | ||
1.一種編碼器標尺，其特征在于，包括：
板狀的基材；以及
光學圖案，設置于所述基材的一側的面，交替排列有第一區域和第二區域，
由以所述基材的厚度方向為法線的第一面構成所述第一區域的主體，
由相對于所述第一面傾斜的第二面構成所述第二區域的主體，
在所述基材的所述一側的面，對應于所述第二區域設置有凹部，所述光學圖案具備配置于所述第一區域的金屬膜，
所述金屬膜具有向所述凹部側突出的部分。
2.根據權利要求1所述的編碼器標尺，其特征在于，
所述基材由能夠進行各向異性蝕刻的結晶材料構成。
3.根據權利要求2所述的編碼器標尺，其特征在于，
所述結晶材料是單晶硅。
4.根據權利要求3所述的編碼器標尺，其特征在于，
所述單晶硅的面取向是(100)。
5.根據權利要求2至4中任一項所述的編碼器標尺，其特征在于，
所述第二面沿著所述結晶材料的結晶面設置。
6.根據權利要求1至4中任一項所述的編碼器標尺，其特征在于，
在所述基材的所述第二區域設置有多個凸部，
使用所述凸部的側面來構成所述第二面。
7.一種編碼器標尺的制造方法，其特征在于，
包括形成光學圖案的光學圖案形成工序，所述光學圖案在板狀的基材的一側的面交替排列有多個第一區域和第二區域，由以所述基材的厚度方向為法線的第一面構成所述第一區域的主體，由相對于所述第一面傾斜的第二面構成所述第二區域的主體，
在所述基材的所述一側的面，對應于所述第二區域設置有凹部，
所述光學圖案具備配置于所述第一區域的金屬膜，
所述金屬膜具有向所述凹部側突出的部分，
通過各向異性蝕刻形成所述第二區域和所述部分。
8.一種編碼器，其特征在于，
包括權利要求1至6中任一項所述的編碼器標尺。
9.一種編碼器，其特征在于，包括：
編碼器標尺；
光源部，朝向所述編碼器標尺射出光；以及
受光部，接收來自所述編碼器標尺的所述光的反射光，
所述編碼器標尺包括：
板狀的基材；以及
光學圖案，設置于所述基材的一側的面，交替排列有第一區域和第二區域，
由以所述基材的厚度方向為法線的第一面構成所述第一區域的主體，
由使所述光沿與所述第一面不同的方向反射的第二面構成所述第二區域的主體，
在所述基材的所述一側的面，對應于所述第二區域設置有凹部，
所述光學圖案具備配置于所述第一區域的金屬膜，
所述金屬膜具有向所述凹部側突出的部分。
10.一種機器人，其特征在于，
包括權利要求1至6中任一項所述的編碼器標尺。
11.一種打印機，其特征在于，
包括權利要求1至6中任一項所述的編碼器標尺。
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