[發(fā)明專利]一種強制對流的硅烷熱分解制多晶硅反應爐在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810405784.4 | 申請日： | 2018-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN108249445A | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發(fā)明（設計）人： | 沈劍 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波工程學院 |
| 主分類號： | C01B33/035 | 分類號： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 315016 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅棒 強制對流 多晶硅 反應爐 熱分解 硅烷 隔膜式壓縮機 表面氣體 爐內(nèi)氣體 強化爐 對流 底板 層流邊界層 原料氣進口 側(cè)面設置 傳質(zhì)阻力 單位能耗 冷卻夾套 強制循環(huán) 循環(huán)管路 原料氣 傳質(zhì) 減小 鐘罩 生長 流動 | ||
1.一種強制對流的硅烷熱分解制多晶硅反應爐，其特征在于所述的反應爐由鐘罩、隔膜式壓縮機、底板、硅棒和硅棒冷卻夾套構(gòu)成；所述的鐘罩為帶有冷卻水夾套的雙層結(jié)構(gòu)，側(cè)面設有循環(huán)氣進口、循環(huán)氣出口；所述的隔膜式壓縮機設有進口和出口，所述隔膜式壓縮機的進口與循環(huán)氣出口連通、出口與循環(huán)氣進口連通；所述的底板為帶冷卻水夾套的雙層結(jié)構(gòu)，設有原料氣進口管、尾氣出口管和石墨電極；所述的原料氣進口管由直管段和分布頭構(gòu)成，原料氣進口管深入到反應爐中間高度；所述的分布頭為側(cè)面設有氣孔的圓柱腔體，所述的氣孔的中心軸與分布頭的中心軸相交形成交角ɑ，所述的ɑ的角度值為10~45度，所述的分布頭側(cè)面的開孔率為10~35%；所述的硅棒為一倒U型硅棒，硅棒的兩端支撐在石墨電極上；所述的硅棒的兩段垂直部分外分別套有一個硅棒冷卻夾套；所述的鐘罩扣在底板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應爐，其特征在于所述的隔膜式壓縮機可以在鐘罩的側(cè)面對稱地設置2個或4個或6個或8個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應爐，其特征在于所述的原料氣進口管設在所述的倒U型硅棒的中間，每個倒U型硅棒配套一個原料氣進口管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應爐，其特征在于所述的尾氣出口管設在底板的中心位置。
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