[發明專利]一種微陣列光學元件模具的制作方法和應用在審
| 申請號： | 201810404564.X | 申請日： | 2018-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN110412666A | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發明（設計）人： | 吳礪;包凌東;黃宏 | 申請（專利權）人： | 福州高意光學有限公司 |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 福州君誠知識產權代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微陣列 光學元件 模具 拋光 光學模具 光學表面 表面熔化 制作 光學技術領域 光學元件形狀 熔化 磁流變拋光 飛秒激光 光學材料 聚焦光學 連續激光 軟拋光墊 光學級 適配 微球 微凸 針頭 壓制 應用 加工 | ||
1.一種微陣列光學元件模具的制作方法，其特征在于：其包括以下步驟：
1）用飛秒激光刻出與微陣列光學元件形狀相適配的光學模具；
2）采用表面熔化或者拋光方法，將光學模具的表面制作成光學級的光學表面，得到微陣列光學元件模具；
所述表面熔化方法為：采用連續激光聚焦光學模具的表面以迅速熔化其表面，產生自然張力使得光學模具具有光學表面；
所述拋光方法為：采用軟拋光墊拋光、微球拋光、磁流變拋光和微凸針頭拋光中的一種以上制作光學模具的光學表面。
2.根據權利要求1所述的一種微陣列光學元件模具的制作方法，其特征在于：所述光學模具由玻璃或金屬成型。
3.根據權利要求1所述的一種微陣列光學元件模具的應用，其特征在于：利用微陣列光學元件模具對光學材料進行壓制加工，制得微陣列光學元件。
4.根據權利要求3所述的一種微陣列光學元件模具的應用，其特征在于：所述微陣列光學元件為微透鏡陣列或者微V槽。
5.根據權利要求4所述的一種微陣列光學元件模具的應用，其特征在于：所述微陣列光學元件為微透鏡陣列時，步驟1）中的光學模具具有多個半徑R為10-100μm的凸球面或凹球面。
6.根據權利要求5所述的一種微陣列光學元件模具的應用，其特征在于：步驟2）中所述表面熔化方法為：采用連續激光聚焦光學模具的微凹或者微凸球面以迅速熔化其表面，產生自然張力使得光學模具具有光學表面。
7.根據權利要求4所述的一種微陣列光學元件模具的應用，其特征在于：所述微陣列光學元件為微V槽時，步驟1）中的光學模具具有多個V型槽。
8.根據權利要求7所述的一種微陣列光學元件模具的應用，其特征在于：步驟2）中所述表面熔化方法為：采用連續激光聚焦光學模具的V型槽面以迅速熔化其表面，產生自然張力使得光學模具具有光學表面。
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