[發明專利]一種半導體激光器合束裝置

在審

• 申請號: 201810401368.7
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN108321677A
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 李大汕;趙亞平;張倩;周權
• 申請（專利權）人: 上海高意激光技術有限公司
• 主分類號: H01S5/40
• 分類號: H01S5/40;G02B27/09
• 代理公司: 上海隆天律師事務所 31282
• 代理人: 臧云霄;鐘宗

1.一種半導體激光器合束裝置，其特征在于，包括：

至少兩路模塊式激光輸入設備，所述模塊式激光輸入設備包括：沿光路方向依次排列的產生光束的半導體激光器、光束整形元件、變換透鏡以及第一衍射光柵，所述半導體激光器位于所述變換透鏡的前焦點，所述第一衍射光柵位于所述變換透鏡的后焦點之前；

第二衍射光柵，各路光束由所述變換透鏡匯聚后分別通過各自的所述第一衍射光柵衍射到達同一個所述第二衍射光柵，各路光束在第二衍射光柵上有相同的位置和衍射角實現合束；以及

輸出耦合鏡，經過所述第二衍射光柵后的合束光垂直入射到所述輸出耦合鏡輸出。

2.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述模塊式激光輸入設備中的半導體激光器的輸出光軸相互平行。

3.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述半導體激光器是單個半導體激光器發光單元、一維陣列排列的半導體激光器巴條、二維陣列排列的半導體激光器疊陣中的一種。

4.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述第一衍射光柵和第二衍射光柵均為透射式光柵。

5.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述第一衍射光柵和第二衍射光柵均為反射式光柵。

6.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述第一衍射光柵是透射式光柵，第二衍射光柵均為反射式光柵。

7.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述第一衍射光柵是反射式光柵，第二衍射光柵均為透射式光柵。

8.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述半導體激光器的前端面鍍增透膜，反射率<1％，后腔面鍍高反膜，反射率>95％。

9.根據權利要求1所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述光束整形元件是以下三種中的任意一種：

快軸準直鏡；

快軸準直鏡和慢軸準直鏡的組合；

快軸準直鏡和45°斜柱透鏡陣列的組合。

10.根據權利要求1至9中任意一項所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述第一衍射光柵和第二衍射光柵在1級或者-1級次的衍射效率大于90％。

11.根據權利要求1至9中任意一項所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于，所述變換透鏡是以下四種中的任意一種：

單個球面柱透鏡；

多個球面柱透鏡組成的透鏡組；

單個非球面柱透鏡；

多個非球面柱透鏡組成的透鏡組。

12.根據權利要求1至9中任意一項所述的半導體激光器合束裝置，其特征在于：所述輸出耦合鏡為部分反射鏡，反射率為5％～30％。