[發(fā)明專利]一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810400974.7
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN108642457B
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李鵬;李家旺;付立政
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南有色新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F1/00;B22F3/04;B22F3/03;B22F3/093;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24
• 代理公司: 長沙永星專利商標事務(wù)所(普通合伙) 43001
• 代理人: 周詠

本發(fā)明公開了一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，該生產(chǎn)方法包括：1、將兩種粒徑范圍不同的鉬粉在真空條件下混合，過篩后得到混合粉料；2、將混合粉料進行等靜壓處理；3、燒結(jié)處理；4、熱軋?zhí)幚恚?；真空退火；6、水切割、銑削加工、磨床加工。通過該方法得到的鉬靶材的長度可達3500mm以上，厚度≤30mm，寬度≤600mm，平面度小于0.08mm，鉬含量≥99.97％，該生產(chǎn)方法的生產(chǎn)效率高，所得高世代鉬靶材的致密度≥99.5％，鉬靶材內(nèi)部組織無氣孔、裂紋、分層、夾雜等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶粒≤80um，晶粒均勻，可作為G10.5代線平面顯示器生產(chǎn)的高純鉬靶；本發(fā)明提供的高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，制備方法簡單，生產(chǎn)成本較低，成品率高，有利于工業(yè)化生產(chǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于金屬材料加工技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法。

背景技術(shù)

鉬作為一種稀有金屬材料，具備高熔點、高電導(dǎo)率、低阻抗、耐腐蝕性等諸多優(yōu)良性能。基于上述特性，鉬靶材在電子行業(yè)中應(yīng)用非常廣泛，按市場需求量來分析，鉬靶材主要應(yīng)用于平面顯示器、薄膜太陽能電池電極、配線材料以及半導(dǎo)體阻擋層材料等領(lǐng)域。尤其在平面顯示器行業(yè)，鉬使用在LCD的元器件中，可使液晶顯示器在亮度、對比度、色彩以及壽命等方面的性能大大提升，因此成為了平面顯示器濺射靶材的基礎(chǔ)材料之一。

近年來，隨著市場對平面顯示器需求的不斷擴大，PVD制備過程所需的濺射鉬靶材市場需求量日趨旺盛。據(jù)統(tǒng)計，全球范圍內(nèi)鉬靶材的市場需求量每年以20％的速度增長，中國作為全球制造業(yè)大國，其鉬靶材的市場需求量更是每年以超過30％的速度增長。然而，平面顯示器作為資金密集型的高技術(shù)含量產(chǎn)品，曾是中國進口僅次于集成電路板、石油、鐵礦石的大宗商品。直至2010年，中國投資的首條8.5代線投產(chǎn)，才開始擺脫32寸和55寸液晶電視對國外面板的依賴。尤其隨著我國以京東方、華星光電、中國電子等為代表的平面顯示器企業(yè)G8.5代線、G10.5代線的投產(chǎn)，對高世代鉬靶材的需求呈爆發(fā)式增長。

高世代鉬靶主要是針對平面顯示器行業(yè)中G8.5代線及G10.5代線所需要的高純鉬靶材，其所對應(yīng)的基本尺寸見下表：

序號	代線	基本規(guī)格(厚度*寬度*長度，單位：mm)
1	G8.5	18*210*2650
2	G10.5	20*200*(3300～3500)

高世代高純鉬靶作為平面顯示器生產(chǎn)的主要基礎(chǔ)材料，市場對該類產(chǎn)品提出了較苛刻的技術(shù)要求，主要體現(xiàn)在如下三個方面：

1、雜質(zhì)元素的控制：鉬靶作為濺射中的陰極源，固體中的雜質(zhì)以及氣孔中的氣體是沉積薄膜的主要污染源。因此，在鉬靶生產(chǎn)過程中，需嚴格控制這些雜質(zhì)元素，最大程度地降低其在鉬靶中的含量；