[發明專利]一種多晶硅鑄錠用坩堝及其制備方法

在審

• 申請號: 201810397451.1
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN108301041A
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 龍立華;付闊;穆榮升;許麗麗;吳允輝;郭大為
• 申請（專利權）人: 煙臺同立高科新材料股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 談杰

1.一種多晶硅鑄錠用坩堝，其特征在于，包含熔融石英和導熱助劑，所述導熱助劑為碳化硅、氧化鋁中的一種或二者的復配，所述熔融石英與導熱助劑的重量比為(1～3)：1。

2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠用坩堝，其特征在于，所述熔融石英的雜質含量控制如下：氧化鐵<40ppm，氧化鋁<1000ppm，堿金屬含量<50ppm；所述碳化硅的雜質含量控制如下：氧化鐵<40ppm，堿金屬含量<50ppm；所述氧化鋁的雜質含量控制如下：氧化鐵<40ppm，堿金屬含量<50ppm。

3.一種權利要求1或2所述的多晶硅鑄錠用坩堝的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)以粒度在500μm以內的熔融石英砂為原料，向原料中加入導熱助劑，所述導熱助劑為碳化硅、氧化鋁中的一種或二者的復配，所述熔融石英與導熱助劑的重量比為(1～3)：1，后采用注凝成型工藝獲得坩堝生坯，干燥；

2)將干燥后的生坯置于1000～1400℃的環境下燒結10～56小時，即得。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述注凝成型工藝采用的是丙烯酰胺凝膠體系。

5.根據權利要求3或4所述的制備方法，其特征在于，所述熔融石英砂為純度在99.9％以上的不同粒度的石英粉料的混合物。