[發明專利]用于PVD立式產線設備的載板取放裝置

在審

• 申請號: 201810394865.9
• 申請日: 2018-04-27
• 公開（公告）號: CN110406955A
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 蘇艷波
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74;B65G47/92
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，包括固定板、固定單元和兩個支架，兩個所述支架分別設置在所述固定板的下方的前后兩側，每個所述支架包括長支腿、短支腿和連接桿，所述長支腿和所述連接桿的頂端分別與所述固定板的左右兩側活動連接，所述連接桿的底端與所述短支腿的頂端活動連接，所述短支腿的中部與所述長支腿的中部活動連接；至少一個所述支架上設有驅動單元，所述驅動單元用于驅動所述支架收攏或展開；所述固定單元用于將載板固定在所述固定板的上表面。

2.根據權利要求1所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述固定單元包括磁鐵和電磁吸合器，所述電磁吸合器設置在所述固定板的底面上，所述磁鐵設置在所述載板上。

3.根據權利要求2所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述電磁吸合器和所述磁鐵的數量均為多個，所述電磁吸合器與所述磁鐵一一對應設置。

4.根據權利要求1所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述長支腿和所述短支腿的底端均設有腳輪。

5.根據權利要求1所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述驅動單元包括驅動件、齒條以及與所述長支腿連接的齒輪箱，所述齒輪箱上開設有橫向貫穿的插孔，所述齒條的一端與所述短支腿的頂部活動連接、另一端插設在所述插孔中，所述齒輪箱內設有齒輪，所述齒輪通過轉軸與所述齒輪箱連接，所述齒輪與所述齒條嚙合，所述驅動件用于驅動所述齒輪轉動。

6.根據權利要求5所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述驅動件包括設置在所述齒輪箱外的搖桿，所述搖桿與所述轉軸連接。

7.根據權利要求5所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述驅動件包括電機和控制器，所述電機與所述轉軸連接，所述控制器與所述電機電連接。

8.根據權利要求1所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述驅動單元包括滑桿以及與所述長支腿連接的滑筒，所述滑桿的一端與所述短支腿的頂部活動連接、另一端滑動插設在所述滑筒中。

9.根據權利要求1所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述驅動單元包括液壓缸，所述液壓缸的缸體與所述長支腿連接，所述液壓缸的活塞桿與所述短支腿的頂部活動連接。

10.根據權利要求1至9任一項所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述固定板上設有與所述載板上的彈簧固定夾一一對應的頂銷，所述頂銷的底部與所述固定板連接、頂部向上延伸，且所述頂銷的長度滿足當所述載板固定在所述固定板上時所述頂銷的頂部能夠頂開所述彈簧固定夾。

11.根據權利要求10所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述固定板上設有用于支撐所述載板的固定件，所述固定件的底部與所述固定板連接、頂部向上延伸。

12.根據權利要求11所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述頂銷和所述固定件分別與所述固定板可拆卸連接。

13.根據權利要求12所述的用于PVD立式產線設備的載板取放裝置，其特征在于，所述頂銷和所述固定件的底部均設有外螺紋，所述固定板上開設有與所述外螺紋配合連接的螺紋孔。