[發明專利]一種NO2傳感器的制備方法在審
| 申請號： | 201810394570.1 | 申請日： | 2018-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN108956707A | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發明（設計）人： | 馬峻;徐企娟 | 申請（專利權）人： | 蘇州諾登德智能科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 許方 |
| 地址： | 215000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 玻璃 電極 傳感器 制備 電子束曝光技術 高靈敏度 溶劑揮發 銅納米線 電極法 漏電極 耐濕性 勻膠機 制作源 中間處 烘烤 光刻 金片 上旋 貼膜 旋涂 源極 清洗 懸空 檢測 支撐 制作 | ||
【權利要求書】：
1.一種NO2傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一、清洗玻璃襯底；
步驟二、采用光刻的方法在玻璃襯底的上方中間處制作Ti/Au電極作為NO2傳感器的柵極，在玻璃襯底的兩側均設有電極；
步驟三、采用勻膠機在玻璃襯底上旋涂一層 PMMA，旋涂時間為 30 s，轉速為 3000 r/min；隨后對玻璃襯底進行烘烤，使 PMMA 中的溶劑揮發；
步驟四、通過電子束曝光技術在PMMA 上制備溝槽，溝槽底部為 Ti/Au電極，溝槽兩側的 PMMA 用于支撐銅納米線，使它懸空在柵極上方；
步驟五、采用金片貼膜電極法在玻璃襯底上制作源漏電極和源極。
2.根據權利要求1所述的一種NO2傳感器的制備方法，其特征在于，PMMA的體積分數為5%。
3.根據權利要求1所述的一種NO2傳感器的制備方法，其特征在于，溝槽的底部為光滑的。
4.根據權利要求1所述的一種NO2傳感器的制備方法，其特征在于，銅納米線放在兩側的PMMA支撐層上，懸空在柵極上方。
5.根據權利要求1所述的一種NO2傳感器的制備方法，其特征在于，Ti/Au電極的厚度為10 nm。
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