[發明專利]酒精噴霧裝置、制作方法及機械加工機床

在審

• 申請號: 201810394390.3
• 申請日: 2018-04-27
• 公開（公告）號: CN108581628A
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;錢百峰
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23Q11/10
• 分類號: B23Q11/10
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 陳劍

本申請實施例提供一種酒精噴霧裝置、制作方法及機械加工機床，該酒精噴霧裝置包括進氣管、出氣管及三位五通閥門，該三位五通閥門連接在酒精噴霧裝置的進氣管和出氣管之間。如此，可以確保酒精噴霧裝置均勻地噴灑出酒精，從而確保制作出的濺射靶材的表面具有一致的加工紋路。

技術領域

本申請涉及半導體濺射靶材領域，具體而言，涉及一種酒精噴霧裝置裝置、制作方法及機械加工機床。

背景技術

在濺射靶材的機械加工過程中，需要使用酒精來進行冷卻。然而，現有的酒精噴霧裝置的噴霧量不穩定，直接導致加工出的濺射靶材的表面的紋路不一致。

發明內容

有鑒于此，本申請實施例提供一種酒精噴霧裝置、制作方法及機械加工機床，以改善上述問題。

為了達到上述目的，本申請實施例采用如下技術方案：

第一方面，本申請實施例提供一種酒精噴霧裝置，包括進氣管、出氣管及三位五通閥門，所述三位五通閥門連接在所述進氣管和所述出氣管之間。

可選地，根據本申請實施例第一方面提供的酒精噴霧裝置，所述酒精噴霧裝置應用于機械加工機床，該機械加工機床用于加工濺射靶材；所述三位五通閥門設置于所述機械加工機床的一側。

可選地，根據本申請實施例第一方面提供的酒精噴霧裝置，所述三位五通閥門包括B孔和P孔，其中，P孔與所述進氣管連通，B孔與所述出氣管連通。

可選地，根據本申請實施例第一方面提供的酒精噴霧裝置，所述 P孔處設置有第一氣管接頭，并通過該第一氣管接頭與所述進氣管連通；

所述B孔處設置有第二氣管接頭，所述P孔通過所述第二氣管接頭與所述出氣管連通。

可選地，根據本申請實施例第一方面提供的酒精噴霧裝置，所述三位五通閥門還包括A孔、R孔和S孔，所述A孔、所述R孔和所述S孔被密封。

可選地，根據本申請實施例第一方面提供的酒精噴霧裝置，所述 A孔、所述R孔和所述S孔中設置有無頭螺絲，所述無頭螺絲外纏有生料帶，從而實現對所述A孔、所述R孔和所述S孔的密封。

第二方面，本申請實施例還提供一種酒精噴霧裝置制作方法，用于制作本申請實施例第一方面提供的酒精噴霧裝置，其中，所述酒精噴霧裝置應用于對濺射靶材進行加工的機械加工機床；所述方法包括：

將三位五通閥門固定于所述機械加工機床的一側；

將所述酒精噴霧裝置的進氣管和出氣管分別與所述三位五通閥門的其中兩個孔連通；

對所述三位五通閥門的另外三個孔進行密封，并通過氣密性檢測設備檢測所述另外三個孔是否漏氣，當所述另外三個孔不漏氣時，確定制作完畢。

可選地，根據本申請實施例第二方面提供的酒精噴霧裝置制作方法，所述三位五通閥門包括B孔和P孔；

將酒精噴霧裝置的進氣管和出氣管分別與所述三位五通閥門的其中兩個孔連通，包括：

在所述P孔處設置第一氣管接頭，并控制所述酒精噴霧裝置的進氣管通過所述第一氣管接頭與所述P孔連通；

在所述B孔處設置第二氣管接頭，并控制所述酒精噴霧裝置的出氣管與所述B孔連通。

可選地，根據本申請實施例第二方面提供的酒精噴霧裝置制作方法，所述三位五通閥門還包括A孔、R孔和S孔；對所述三位五通閥門的另外三個孔進行密封，包括：

分別在所述A孔、所述R孔和所述S孔中安裝無頭螺絲；

分別在所述A孔、所述R孔和所述S孔中的無頭螺絲上纏設生料帶，以實現密封。