[發明專利]一種孔位檢具

在審

• 申請號: 201810384003.8
• 申請日: 2018-04-26
• 公開（公告）號: CN108507438A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;陳文慶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 陳劍

1.一種孔位檢具，其特征在于，包括：

檢測環，所述檢測環上間隔設置有與標準ILC1060靶材的第一螺紋孔相對應的多個第一檢測孔，以及還間隔設置有與所述標準ILC1060靶材的第二螺紋孔相對應的多個第二檢測孔，所述檢測環的內徑大于所述標準ILC1060靶材的鋁柱體的直徑；

以及，多個與所述第一檢測孔相對應的第一固定件，以及多個與所述第二檢測孔相對應的第二固定件，所述第一固定件的數量大于等于所述第一檢測孔的數量，所述第二固定件的數量大于等于所述第二檢測孔的數量，在使用所述孔位檢具對待檢測ILC1060靶材進行檢測時，在每個第一檢測孔與對應的第一螺紋孔均能通過所述第一固定件進行固定，以及每個第二檢測孔與對應的第二螺紋孔均能通過所述第二固定件進行固定時，表明所述待檢測ILC1060靶材合格。

2.根據權利要求1所述的孔位檢具，其特征在于，所述檢測環包括：內環和外環，多個所述第一檢測孔設置于所述內環上，多個所述第二檢測孔設置于所述內環上，所述外環的高度大于所述內環的高度，所述外環的內徑大于所述標準ILC1060靶材的直徑。

3.根據權利要求2所述的孔位檢具，其特征在于，所述外環的反面與所述內環的反面齊平，所述外環的正面高于所述內環的正面。

4.根據權利要求2所述的孔位檢具，其特征在于，所述外環的反面高于所述內環的反面，所述外環的正面高于所述內環的正面。

5.根據權利要求2所述的孔位檢具，其特征在于，所述外環的反面距離所述內環的反面的部分與所述外環的正面距離所述內環的正面的部分高度相等。

6.根據權利要求2－5任一項所述的孔位檢具，其特征在于，所述外環的內圓的直徑選自393.9mm至394.1mm之間的任一數值。

7.根據權利要求6所述的孔位檢具，其特征在于，所述外環的外圓的直徑選自434.9mm至435.1mm之間的任一數值。

8.根據權利要求2－5任一項所述的孔位檢具，其特征在于，所述內環的外圓的直徑選自393.9mm至394.1mm之間的任一數值，所述內環的內圓的直徑選自353mm至353.2mm之間的任一數值。

9.根據權利要求2－5任一項所述的孔位檢具，其特征在于，每個所述第一檢測孔的中心位于直徑選自379.99mm至380.01mm之間任一數值的圓弧上，每個所述第二檢測孔的中心位于直徑選自367.99mm至368.01mm之間任一數值的圓弧上。

10.根據權利要求2－5任一項所述的孔位檢具，其特征在于，所述第一檢測孔的數量為6個，相鄰兩個第一檢測孔之間的角度選自59.95至60.05度之間的任一數值，所述第二檢測孔的數量為6個，相鄰兩個第二檢測孔之間的角度選自59.95至60.05度之間的任一數值。