[發(fā)明專利]基板周轉(zhuǎn)載盤

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810381661.1
• 申請(qǐng)日: 2018-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN108572471B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張夏;黃建龍;鄭紹谷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂;王中華

1.一種基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，包括：至少一個(gè)承載盤(1)，每一個(gè)承載盤(1)均包括：底面(10)以及與所述底面(10)相連并包圍所述底面(10)的側(cè)壁(20)；

所述底面(10)包括：承載凸臺(tái)(11)以及沿所述承載凸臺(tái)(11)四周延伸的聯(lián)通槽(12)，所述承載凸臺(tái)(11)中形成有第一凹槽(13)，所述側(cè)壁(20)中形成第二凹槽(14)，所述聯(lián)通槽(12)、第一凹槽(13)及第二凹槽(14)的凹陷方向垂直于所述底面(10)，所述第一凹槽(13)和第二凹槽(14)均與所述聯(lián)通槽(12)聯(lián)通；

所述第一凹槽(13)包括多個(gè)間隔分布的主凹陷區(qū)(131)、連接各個(gè)主凹陷區(qū)(131)的第一通道(132)以及連接主凹陷區(qū)(131)和聯(lián)通槽(12)的第二通道(133)。

2.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述主凹陷區(qū)(131)的形狀為三角形。

3.如權(quán)利要求2所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述主凹陷區(qū)(131)的數(shù)量為8個(gè)，每4個(gè)主凹陷區(qū)(131)為一組，位于同一組的主凹陷區(qū)(131)圍繞同一個(gè)中心點(diǎn)均勻分布，位于不同組的主凹陷區(qū)(131)圍繞不同的中心點(diǎn)分布。

4.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述側(cè)壁(20)的頂部至所述第二凹槽(14)的底部的距離大于所述側(cè)壁(20)的頂部至所述聯(lián)通槽(12)的底部的距離。

5.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述第二凹槽(14)的數(shù)量為多個(gè)，所述多個(gè)第二凹槽(14)沿所述側(cè)壁(20)均勻分布。

6.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述基板周轉(zhuǎn)載盤的材料為塑料。

7.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述承載盤(1)的數(shù)量為4個(gè)，所述4個(gè)承載盤(1)排列成2行2列。

8.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述承載盤(1)的形狀為矩形。

9.如權(quán)利要求1所述的基板周轉(zhuǎn)載盤，其特征在于，所述承載凸臺(tái)(11)的頂面至所述聯(lián)通槽(12)的底部的距離與所述承載凸臺(tái)(11)的頂面至所述第一凹槽(13)的底部的距離相等。