[發明專利]測試裝置及折疊探針卡測試系統

有效

• 申請號: 201810377251.X
• 申請日: 2018-04-25
• 公開（公告）號: CN110398617B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發明（設計）人: 周敏忠
• 申請（專利權）人: 晶豪科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王珊珊

本發明公開一種測試裝置，具有第一輸出/輸入、第二輸出/輸入、第一比較器、第二比較器、數據組合模塊、第一數據輸出電路及第二數據輸出電路。第一比較器及第二比較器分別接收第一測試數據及第二測試數據。電性連接至第一比較器及第二比較器的數據組合模塊接收第一比較器的經比較的第一測試數據和第二比較器的經比較的第二測試數據，且進一步接收指令碼。第一數據輸出電路和第二數據輸出電路分別連接到第一輸出/輸入及第二輸出/輸入，且進一步電性連接至數據組合模塊。

技術領域

本發明關于測試裝置以及使用所述測試裝置的折疊探針卡測試系統，特別是一種具有彈性以用于具有一個及多個輸入/輸出的多個不同探針卡的測試裝置。

背景技術

當在晶圓上測試集成電路(IC)時，會盡可能地平行測試多個裝置，以符合成本效益并減少每個晶圓的測試時間。測試系統控制器已經發展到增加通道數量，從而增加可以平行測試的裝置數量。然而，具有增加的測試信道的測試系統控制器對于測試系統來說是一個重要的成本因素，具有用于容納多個平行測試信道的復雜布線的探針卡也是如此。因此，希望提供一種總體的探針卡結構，其允許增加測試平行性而不需要增加的測試系統控制器信道并且不增加探針卡布線復雜度。

參照圖1，圖1為現有測試系統中的現有測試裝置的方塊圖。現有測試裝置1包括多個比較器111、112及多個數據輸出電路121、122，其中每一個比較器111、112以一對一的方式電性連接于對應的一個數據輸出電路121、122。

每一個比較器111、112接收對應的一個測試數據DG_1、DG_2。每一個比較器111、112比較所接收的測試數據DG_1、DG_2及輸出經比較的測試數據至對應的一個數據輸出電路121、122。然后，數據輸出電路121、122于其輸出端DQ1、DQ2各自輸出經比較的測試數據。現有測試裝置1采用多個輸入/輸出配置(即，2個輸入/輸出配置)，但如此可能增加探針卡的布線復雜度。

參照圖2，圖2為現有測試系統中的另一個現有測試裝置的方塊圖。現有測試裝置2包括多個比較器211、212、數據組合器22及數據輸出電路23，其中比較器211、212電性連接至數據組合器22，且數據組合器22電性連接至數據輸出電路23。

每一個比較器211、212接收對應的一個測試數據DG_1、DG_2。每一個比較器211、212比較所接收的測試數據DG_1、DG_2及將經比較的測試數據輸出至數據組合器22。數據組合器22進一步接收指令碼CY[1:0]，并且根據指令碼CY[1:0]將比較器211的經比較的測試數據、比較器212的經比較的測試數據或比較器211、212的經比較的測試數據的組合輸出至數據輸出電路23。

舉例來說，當指令碼CY[1:0]為「00」時，數據輸出電路23于其輸出端DQ1輸出比較器211、212的經比較的測試數據的組合。當指令碼CY[1:0]為「10」時，數據輸出電路23于其輸出端DQ1輸出比較器211的經比較的測試數據。當指令碼CY[1:0]為「01」時，數據輸出電路23于其輸出端DQ1輸出比較器212的經比較的測試數據。現有測試裝置2采用單一輸入/輸出配置(即，1個輸入/輸出配置)，如此可能導致需要測試控制器且不適用于具有多個輸入/輸出的探針卡。

發明內容

本發明其中一個目的在于提供一種測試裝置，且此測試裝置可同時適用于具有一個及多個輸入/輸出的兩個測試系統(即，具有彈性以用于一個及多個輸入/輸出的多個探針卡)。

本發明另外一個目的提供一種折疊探針卡測試系統，且此折疊探針卡測試系統能夠使用用于一般測試模式的測試裝置。