[發明專利]一種SE電池印刷對位檢測防偏移補償方法在審
| 申請號: | 201810374687.3 | 申請日: | 2018-04-24 |
| 公開(公告)號: | CN108550653A | 公開(公告)日: | 2018-09-18 |
| 發明(設計)人: | 吳俊旻;張鵬;常青;余波;謝耀輝;楊蕾;閆濤 | 申請(專利權)人: | 通威太陽能(合肥)有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 昆明合眾智信知識產權事務所 53113 | 代理人: | 楊俊達 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 印刷對位 偏移 電池片 防偏移 對位 偏移量 測量精度高 印刷機參數 補償調整 采集信號 電極柵線 分析處理 快速測量 連續采集 印刷過程 上電池 印刷機 校準 流水線 成像 抽取 對準 測量 圖像 印刷 傳輸 監控 電腦 | ||
1.一種SE電池印刷對位檢測防偏移補償方法,其特征在于,包括以下步驟:
步驟一、MARK點的設置:在電池片上進行鐳射摻雜,形成鐳射摻雜線,并且在鐳射摻雜線上鐳射出MARK點;
步驟二、電極柵線的印刷:將電池放在載片臺上與印刷機進行對位,調整印刷機使得電極柵線在印刷時正好疊印于鐳射摻雜線上;
且印刷主柵線時,會在主柵線上留有與MARK點對應的鏤空區域不予印刷;
步驟三、電池片抽查檢測:在印刷流水線上,每隔相同片數抽取一片電池片,進行該電池片的對位檢測;
步驟四、檢測和補償:使用固定位置的CCD連續采集電池片的MARK點對準圖像,采集信號傳輸到電腦,分析處理成像,從而判斷出電池片印刷過程中是否發生偏移;
若發生偏移,得出具體偏移量,然后及時調整印刷機參數校準對位,進行偏移量的補償。
2.根據權利要求1所述的一種SE電池印刷對位檢測防偏移補償方法,其特征在于:步驟一中,所述MARK點設置有不少于4個。
3.根據權利要求1所述的一種SE電池印刷對位檢測防偏移補償方法,其特征在于:步驟一中,所述MARK點設置為十字形或環形。
4.根據權利要求1所述的一種SE電池印刷對位檢測防偏移補償方法,其特征在于:步驟三中,采用每隔數十片或數百片的方式進行印刷流水線上電池片的抽取。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





