[發明專利]接地環、腔室以及物理氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201810374628.6
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN110396664B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 耿波;羅建恒;張超
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/54
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 焦玉恒

1.一種接地環，包括：

第一導電環、第二導電環以及將所述第一導電環和所述第二導電環電連接的多個彈性裝置，

其中，所述第一導電環的第一中心軸線與所述第二導電環的第二中心軸線平行或重合，所述多個彈性裝置被配置為使得所述第一導電環和所述第二導電環可沿所述第一中心軸線的方向相對運動。

2.根據權利要求1所述的接地環，其中，沿所述第一中心軸線的方向，所述第一導電環與所述第二導電環之間可相對運動的距離為1-30mm。

3.根據權利要求1所述的接地環，其中，所述多個彈性裝置中的每個包括：

連接桿，被配置為限定所述第一導電環和所述第二導電環的相對運動方向為沿所述第一中心軸線的方向；以及

套設在所述連接桿上的彈性部件，所述彈性部件被配置為通過發生形變以使所述第一導電環和所述第二導電環沿所述第一中心軸線的方向相對運動。

4.根據權利要求3所述的接地環，其中，所述彈性部件的一端與所述第一導電環相對固定，所述彈性部件的另一端與所述第二導電環相對固定。

5.根據權利要求3或4所述的接地環，其中，所述第一導電環和所述第二導電環的至少之一與所述彈性裝置的連接處設置有第一誘電線圈，以增強所述第一導電環和所述第二導電環的至少之一與所述彈性裝置之間的導電性。

6.根據權利要求3或4所述的接地環，其中，所述多個彈性裝置沿所述第一導電環的周向均勻分布。

7.根據權利要求3或4所述的接地環，其中，所述多個彈性裝置的數量不少于8個。

8.根據權利要求3或4所述的接地環，其中，沿所述第一中心軸線的方向，所述第一導電環與所述第二導電環部分交疊，所述彈性部件位于所述第一導電環與所述第二導電環的交疊部分之間。

9.根據權利要求3或4所述的接地環，其中，所述第一導電環的內徑小于所述第二導電環的內徑，所述第一導電環包括第一環形側壁，所述第一環形側壁在所述第一導電環的徑向方向上的截面沿所述第一中心軸線的方向延伸，且所述第二導電環的內側端部沿所述第一導電環的徑向方向與所述第一環形側壁之間的距離不超過5mm。

10.根據權利要求3或4所述的接地環，其中，所述第一導電環的內徑小于所述第二導電環的內徑，所述第二導電環包括第二環形側壁，所述第二環形側壁在所述第二導電環的徑向方向上的截面沿所述第二中心軸線的方向延伸，且所述第一導電環的外側端部沿所述第二導電環的徑向方向與所述第二環形側壁之間的距離不超過5mm。

11.一種腔室，包括：

腔體；

屏蔽件，與所述腔體的內壁連接；

基座，包括導電的外殼以及用于支撐待處理工件的支撐面；以及

權利要求1-10任一項所述的接地環，

其中，所述支撐面垂直于所述第一中心軸線，所述第一導電環連接到所述外殼上，所述第二導電環被配置為抵接到所述屏蔽件上。

12.根據權利要求11所述的腔室，其中，所述彈性裝置被配置為處于形變狀態時使所述第二導電環保持抵接在所述屏蔽件上的狀態。

13.根據權利要求11所述的腔室，其中，所述第一導電環與所述基座的外殼的連接處設置有第二誘電線圈以增加所述第一導電環與所述基座的外殼之間的導電性。

14.根據權利要求11所述的腔室，其中，沿所述第一導電環的徑向方向，所述第一導電環的靠近所述屏蔽件的端部與所述屏蔽件之間的距離不超過5mm。

15.根據權利要求11-14任一項所述的腔室，其中，所述第二導電環包括彈性電連接件，所述第二導電環通過所述彈性電連接件抵接在所述屏蔽件上。