[發(fā)明專利]在感光性樹脂的表面形成金屬層的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810373443.3
• 申請(qǐng)日: 2018-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN109252148B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃堂杰;莊朝欽;許家福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 律勝科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C18/48
• 分類號(hào): C23C18/48;C23C18/16;C23C18/20;C23C18/30;C08J7/06;C08J7/12;G03F7/004;C08L79/08
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 孟凡宏

1.一種在感光性樹脂的表面形成金屬層的方法，所述感光性樹脂包含(a)環(huán)氧化合物、(b)感光性聚酰亞胺及(c)光起始劑；該環(huán)氧化合物占該感光性樹脂的固體重量的5-40％；該感光性聚酰亞胺具有式(1)的結(jié)構(gòu)：

其中m、n各自獨(dú)立為1至600；X為四價(jià)有機(jī)基團(tuán)，其主鏈部份含脂環(huán)族基團(tuán)；Y為二價(jià)有機(jī)基團(tuán)，其主鏈部份含硅氧烷基團(tuán)；Z為二價(jià)有機(jī)基團(tuán)，其支鏈部份至少含酚基或羧基，該感光性聚酰亞胺占該感光性樹脂的固體重量的30-90％；該光起始劑占該感光性樹脂的固體重量的0.1-15％，

所述方法包含下列步驟：

(i)前處理，使用堿性水溶液及平行紫外光或電漿對(duì)該感光性樹脂的表面進(jìn)行清潔及預(yù)活化；

(ii)表面改質(zhì)，將該感光性樹脂浸泡于表面改質(zhì)劑中，在該感光性樹脂上形成有機(jī)改質(zhì)層，該表面改質(zhì)劑選自式(2)至式(6)中的至少一種胺基化合物的水溶液：

其中n＝1-3，R₁為NH₂、NHCH₃或NH(CH₃)₂，R₂為H或C_mH_2mNH₂，m＝1-3，R₃為NH₂、SH或OH，R₄為SH、

(iii)表面活化，加入觸媒金屬離子，使該有機(jī)改質(zhì)層與該觸媒金屬離子在該感光性樹脂表面形成金屬離子錯(cuò)合物；

(iv)還原反應(yīng)，用還原劑將附著于該感光性樹脂表面的該金屬離子錯(cuò)合物還原成納米金屬觸媒；

(v)化學(xué)鍍，將已形成納米金屬觸媒的該感光性樹脂浸泡于化學(xué)鍍液中，形成導(dǎo)電金屬層；

(vi)熱處理，將已形成導(dǎo)電金屬層的該感光性樹脂于100-250℃的條件下烘烤；以及

(vii)電鍍?cè)龊瘢瑢⒑婵竞蟮母泄庑詷渲M(jìn)行電鍍，增厚該導(dǎo)電金屬層。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中表面改質(zhì)步驟(ii)中的浸泡時(shí)間為1-20分鐘，且該表面改質(zhì)劑的胺基化合物的濃度為0.1-10g/L，溫度為30-75℃。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中表面活化步驟(iii)加入的該觸媒金屬離子為包括Cu、Ni、Ag、Au或Pd離子的酸性水溶液。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中還原反應(yīng)步驟(iv)加入的該還原劑為次磷酸鈉、硼氫化鈉、二甲基胺硼烷或聯(lián)胺水溶液。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中化學(xué)鍍步驟(v)加入的該化學(xué)鍍液包含銅離子、鎳離子、螯合劑、還原劑、pH緩沖劑、界面活性劑及pH調(diào)整劑。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中該銅離子的來(lái)源為硝酸銅、硫酸銅、氯化銅或氨基磺酸銅。

7.如權(quán)利要求5所述的方法，其中該鎳離子的來(lái)源為硫酸鎳、硝酸鎳、氯化鎳、硫酸鎳或氨基磺酸鎳。

8.如權(quán)利要求5所述的方法，其中該螯合劑為檸檬酸鈉、酒石酸鉀鈉或乙二胺四乙酸。

9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中化學(xué)鍍步驟(v)形成的該導(dǎo)電金屬層厚度為50-200nm。

10.如權(quán)利要求1所述的方法，其中熱處理步驟(vi)的烘烤時(shí)間為10-60分鐘。

11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中當(dāng)以平行紫外光進(jìn)行前處理時(shí)，該平行紫外光的照射波長(zhǎng)為100-280nm，表面累積輻照強(qiáng)度為1-20J/cm²，且照射時(shí)間為1-30分鐘。

12.如權(quán)利要求1所述的方法，其中當(dāng)以電漿進(jìn)行前處理時(shí)，輸出功率為100-5000W，且處理時(shí)間為0.5-30分鐘。

13.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該電鍍?cè)龊癫襟E(vii)中，是將該導(dǎo)電金屬層的厚度增加至12-18μm。