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[發(fā)明專利]像素結(jié)構(gòu)及其制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810372612.1 申請日: 2018-04-24
公開(公告)號(hào): CN110098219A 公開(公告)日: 2019-08-06
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 史文 申請(專利權(quán))人: 廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司
主分類號(hào): H01L27/32 分類號(hào): H01L27/32;H01L51/56
代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 代理人: 王雯雯
地址: 510000 廣東省廣州市廣州*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 平坦層 像素電極層 像素結(jié)構(gòu) 上表面 基板 像素界定層 圖案化 制備 封閉連接 隔斷 產(chǎn)能 開口 貫穿 覆蓋
【權(quán)利要求書】:

1.一種像素結(jié)構(gòu),其特征在于,包括基板、平坦層、像素電極層以及像素界定層;

所述平坦層連接在所述基板上,所述平坦層的上表面圖案化有多個(gè)凹槽以及多個(gè)連接過孔,所述連接過孔從所述平坦層的上表面貫穿至所述基板;

所述像素電極層連接在所述凹槽外側(cè)且位于所述平坦層的上表面上,并且所述像素電極層覆蓋所述連接過孔;

所述像素界定層位于所述連接過孔處的像素電極層上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述凹槽的深度為50nm-150nm,所述凹槽的槽口的直徑為6μm-20μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述平坦層的材料為有機(jī)光阻材料或無機(jī)材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述平坦層的材料包括氧化硅和/或氮化硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極層為透明導(dǎo)電膜層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極為導(dǎo)電金屬氧化物和/或高導(dǎo)有機(jī)導(dǎo)電材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極層為反射型導(dǎo)電膜層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極為高導(dǎo)電金屬薄膜材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素界定層為疏液性像素界定層。

10.一種像素結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

在基板上沉積一層平坦層;

對(duì)所述平坦層的上表面進(jìn)行圖案化,使得所述平坦層的上表面形成多個(gè)凹槽以及多個(gè)連接過孔,所述連接過孔從所述平坦層的上表面貫穿至所述基板;

在所述平坦層上制備像素電極層,使所述像素電極層覆蓋所述平坦層的上表面和所述連接過孔;

對(duì)所述像素電極層進(jìn)行圖案化,使各個(gè)所述凹槽處的所述像素電極層均隔斷;

在各個(gè)所述連接過孔處的像素電極層上制備像素界定層。

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1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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