[發(fā)明專利]像素結(jié)構(gòu)及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810372612.1 | 申請日: | 2018-04-24 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110098219A | 公開(公告)日: | 2019-08-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 史文 | 申請(專利權(quán))人: | 廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L27/32 | 分類號(hào): | H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 | 代理人: | 王雯雯 |
| 地址: | 510000 廣東省廣州市廣州*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 平坦層 像素電極層 像素結(jié)構(gòu) 上表面 基板 像素界定層 圖案化 制備 封閉連接 隔斷 產(chǎn)能 開口 貫穿 覆蓋 | ||
1.一種像素結(jié)構(gòu),其特征在于,包括基板、平坦層、像素電極層以及像素界定層;
所述平坦層連接在所述基板上,所述平坦層的上表面圖案化有多個(gè)凹槽以及多個(gè)連接過孔,所述連接過孔從所述平坦層的上表面貫穿至所述基板;
所述像素電極層連接在所述凹槽外側(cè)且位于所述平坦層的上表面上,并且所述像素電極層覆蓋所述連接過孔;
所述像素界定層位于所述連接過孔處的像素電極層上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述凹槽的深度為50nm-150nm,所述凹槽的槽口的直徑為6μm-20μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述平坦層的材料為有機(jī)光阻材料或無機(jī)材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述平坦層的材料包括氧化硅和/或氮化硅。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極層為透明導(dǎo)電膜層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極為導(dǎo)電金屬氧化物和/或高導(dǎo)有機(jī)導(dǎo)電材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極層為反射型導(dǎo)電膜層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素電極為高導(dǎo)電金屬薄膜材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的像素結(jié)構(gòu),其特征在于,所述像素界定層為疏液性像素界定層。
10.一種像素結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
在基板上沉積一層平坦層;
對(duì)所述平坦層的上表面進(jìn)行圖案化,使得所述平坦層的上表面形成多個(gè)凹槽以及多個(gè)連接過孔,所述連接過孔從所述平坦層的上表面貫穿至所述基板;
在所述平坦層上制備像素電極層,使所述像素電極層覆蓋所述平坦層的上表面和所述連接過孔;
對(duì)所述像素電極層進(jìn)行圖案化,使各個(gè)所述凹槽處的所述像素電極層均隔斷;
在各個(gè)所述連接過孔處的像素電極層上制備像素界定層。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的





