[發(fā)明專利]一種防護板組件及鍍膜設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810368071.5
• 申請日: 2018-04-23
• 公開（公告）號: CN108544811A
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張靜
• 申請（專利權(quán)）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: B32B7/08
• 分類號: B32B7/08;B32B15/01;C23C14/24;B32B3/30
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發(fā)明涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種防護板組件及鍍膜設(shè)備，防護板組件包括：至少一塊普通鋼板和至少一塊花紋板，普通鋼板與花紋板層疊設(shè)置，其中至少一塊花紋板的至少一側(cè)面設(shè)置有花紋，且防護板組件的最外側(cè)為設(shè)置有花紋的一側(cè)面；防護板組件設(shè)于鍍膜設(shè)備的腔室的內(nèi)壁，防護板組件背離腔室的內(nèi)壁的側(cè)面設(shè)有花紋。花紋板由于其表面花紋結(jié)構(gòu)，具有良好的熱反射性能，熱反射率可達85％～95％，能夠較普通鋼板反射更多的熱量；花紋板較鉬板成本低廉；該防護板組件具有較好的熱屏蔽效果，減少了內(nèi)部熱量向外耗散，能夠保持腔室內(nèi)部溫度的穩(wěn)定性，提升了鍍膜工藝的穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品良好率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及高溫真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種防護板組件及鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

共蒸發(fā)鍍膜工藝中，在真空狀態(tài)下將待鍍材料加熱后，達到一定的溫度使其蒸發(fā)，以分子或原子的形態(tài)進入空間沉積在基片表面。真空設(shè)備的腔體內(nèi)部溫度比較高，需安裝熱防護板，減少內(nèi)部熱量向外部擴散，設(shè)備外部還需要采取降溫措施對其進行降溫處理。

目前，當真空腔室內(nèi)部溫度大于1000℃時，普遍采用鉬板作為熱防護板，當溫度小于1000℃時，則采用一層或幾層貼合在一起的普通304鋼板作為熱防護板。

正常工作情況下，共蒸發(fā)鍍膜工藝中，鍍膜設(shè)備腔體內(nèi)部溫度為500℃至600℃，溫度較高。如果使用普通304鋼板，則熱屏蔽效果不佳，對設(shè)備外部水冷系統(tǒng)提出了很高的要求；同時，內(nèi)部環(huán)境溫度分布均勻性及穩(wěn)定性受到一定程度的影響，同時對加熱器提出了更高的要求。若采用鉬板，因材料特殊，成本較高，而且未能充分發(fā)揮鉬板的材料的優(yōu)勢性能。

因此，亟需一種防護板組件及鍍膜設(shè)備，以解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一在于提出一種防護板組件，其具有較好的熱屏蔽效果，且成本較低。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種防護板組件，包括：

至少一塊普通鋼板和至少一塊花紋板，所述普通鋼板與所述花紋板層疊設(shè)置，其中至少一塊所述花紋板的至少一側(cè)面設(shè)置有花紋，且所述防護板組件的最外側(cè)為設(shè)置有花紋的一側(cè)面。

花紋板由于其表面花紋結(jié)構(gòu)，具有良好的熱反射性能，其熱反射率可達85％～95％；其能夠較普通鋼板反射更多的熱量，減少了熱量向外耗散；此外，花紋板較鉬板成本低廉。

優(yōu)選地，所述花紋板的材質(zhì)為金屬。

優(yōu)選地，所述花紋板為不銹鋼花紋板。

優(yōu)選地，所述花紋為凸起。

優(yōu)選地，所述凸起的形狀為圓豆形、扁豆形、菱形或扁圓形。

優(yōu)選地，所述普通鋼板和所述花紋板的數(shù)量均為一塊。

優(yōu)選地，所述防護板組件的相鄰兩塊板之間設(shè)置有間隙，或相鄰兩塊板緊密貼合。

優(yōu)選地，所述防護板組件的所有板固定連接。

優(yōu)選地，所述防護板組件的所有板通過卡銷、螺栓、銷釘或鉚釘固定連接在一起。

本發(fā)明的另一目的在于提出一種鍍膜設(shè)備，其內(nèi)壁上的防護板組件具有較好的熱屏蔽效果，且成本較低。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種鍍膜設(shè)備，包括如上所述的防護板組件，所述防護板組件設(shè)置于所述鍍膜設(shè)備的腔室的內(nèi)壁，所述防護板組件背離所述腔室的內(nèi)壁的側(cè)面設(shè)有花紋。

該防護板組件具有較好的熱屏蔽效果，減少了內(nèi)部熱量向外耗散，能夠保持腔室內(nèi)部溫度的穩(wěn)定性，提升了鍍膜工藝的穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品良好率；還降低了對水冷系統(tǒng)的設(shè)計要求和加熱系統(tǒng)的控制及穩(wěn)定性要求，減小了加熱器的電能消耗，有利于節(jié)能減排。