[發明專利]具有超表面的鈣鈦礦天線及其制備方法

有效

• 申請號: 201810362414.7
• 申請日: 2018-04-20
• 公開（公告）號: CN108535881B
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 肖淑敏;任彩云;張晨;高翊盛;宋清海
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學深圳研究生院
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28
• 代理公司: 深圳市添源知識產權代理事務所(普通合伙) 44451
• 代理人: 羅志偉

1.一種具有超表面的鈣鈦礦天線，其特征在于：包括從上至下層疊設置的鈣鈦礦層、金膜和基底，所述基底為二氧化硅琉璃片，所述鈣鈦礦天線為梯臺狀。

2.一種用于制備權利要求1所述的具有超表面的鈣鈦礦天線的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在基底上鍍金膜；

S2、在金膜上制備鈣鈦礦膜；

S3、制備圖案掩模；

S4、在掩模上制備鈣鈦礦天線。

3.根據權利要求2所述的具有超表面的鈣鈦礦天線的制備方法，其特征在于：在步驟S1中，采用電子束蒸鍍在二氧化硅琉璃片上鍍金膜，在電子束蒸鍍金膜之前，對二氧化硅琉璃片進行清洗。

4.根據權利要求2所述的具有超表面的鈣鈦礦天線的制備方法，其特征在于：在步驟S2中，采用化學生長法制備鈣鈦礦薄膜。

5.根據權利要求4所述的具有超表面的鈣鈦礦天線的制備方法，其特征在于：將滴有上清液的金膜置于勻膠臺上，取溴化鉛溶于二甲基甲酰胺中的飽和溶液上清液50μl，垂直滴加在經過親水處理的金膜上，勻膠臺轉速設置在3000r/s，維持10s，在第7秒時在距離金膜8-10cm處，施加0.2mpa氣壓的空氣，將勻好的溴化鉛薄膜樣品靜置20s，隨后放置在勻膠臺上，取40μl甲基溴化銨溶液滴加在溴化鉛薄膜上，轉速設置為3000r/s，維持30s，將勻好的薄膜置于恒溫加熱臺上，100℃下加熱40min，制得鈣鈦礦膜。

6.根據權利要求2所述的具有超表面的鈣鈦礦天線的制備方法，其特征在于：在步驟S3中，采用電子束光刻制備圖案掩模，按照電子束光刻流程，在得到的金膜上勻上光刻膠PMMA，用電子束光刻機進行曝光，將預先編寫好的超表面天線陣列圖案轉移在光刻膠上，經過顯影后光刻膠上具有天線陣列反結構圖案。

7.根據權利要求6所述的具有超表面的鈣鈦礦天線的制備方法，其特征在于：在步驟S4中，在掩模上采用反應離子束刻蝕制備鈣鈦礦天線，顯影結束后，將具有天線陣列反結構圖案的樣品，用反應離子束刻蝕法對樣品進行刻蝕，在金膜上形成鈣鈦礦天線結構陣列，得到基于鈣鈦礦的異常反射超表面。