[發明專利]一種三維精密壓電傳感裝置有效
| 申請號： | 201810361373.X | 申請日： | 2018-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN108593154B | 公開（公告）日： | 2019-08-20 |
| 發明（設計）人： | 閆鵬;張志名;魯帥帥 | 申請（專利權）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221 | 代理人： | 任歡 |
| 地址： | 250061 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 中心框體 壓電傳感裝置 精密 三維 力放大機構 傳感裝置檢測 凹槽形成 導向機構 三自由度 力作用 靈敏度 輸出端 晶塊 壓電 放大 傳遞 檢測 | ||
1.一種三維精密壓電傳感裝置，其特征在于，包括：
基體，基體內設有凹槽，凹槽內設置中心框體；
第一平面內傳感單元，包括力作用帶，第一平面內四條作用帶構成中心框體，同一方向兩力作用帶的四端分別通過導向機構與基體各自連接，中心框體的輸出端與第一力放大機構連接，對中心框體的作用力經第一力放大機構放大后傳遞給相應側的壓電晶塊；
所述第一平面內傳感單元包括：
X向傳感單元，包括設于中心框體兩側的X正向作用帶和X反向作用帶，兩作用帶的四端分別設置X導向機構，X導向機構一端與基體連接，另一端與中心框體連接，中心框體的輸出端與同基體連接的X向第一力放大機構連接，經X向第一力放大機構放大后的被測力最終經X輸出鉸鏈傳遞到X向壓電晶塊，
Y向傳感單元，與X向傳感單元方向在同一平面內，與X向傳感單元相互垂直，且結構相同；
所述X向壓電晶塊兩端通過粘合劑與所述X輸出鉸鏈、基體固連；
該裝置，還包括Z向傳感單元，Z向傳感單元的被測力方向與第一平面垂直；
所述Z向傳感單元包括Z壓力作用帶和壓曲機構，壓曲機構設于Z壓力作用帶的兩端，壓曲機構兩端分別與第二力放大機構的輸入塊連接，第二力放大機構位于中心框體內，并通過Z向導向機構連接到中心框體，對壓曲機構的作用力經力放大機構放大后傳遞給Z向壓電晶塊，Z向壓電晶塊兩端分別與第二力放大機構的兩輸出塊固連；
所述第二力放大機構為對稱橋式結構，Z向壓電晶塊設于所述壓曲機構的下方。
2.根據權利要求1所述的一種三維精密壓電傳感裝置，其特征在于，所述中心框體的輸出端通過X連接桿與X向第一力放大機構的輸入鉸鏈連接。
3.根據權利要求1所述的一種三維精密壓電傳感裝置，其特征在于，所述X向第一力放大機構尾端通過圓形鉸鏈與基體連接。
4.根據權利要求1所述的一種三維精密壓電傳感裝置，其特征在于，所述導向機構為簧片型導向機構，且多個導向機構以中心框體的中心對稱設置。
5.根據權利要求1所述的一種三維精密壓電傳感裝置，其特征在于，所述X向壓電晶塊的敏感軸向為X方向，與Y向壓電晶塊設于基體對應的凹槽內。
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