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[發明專利]一種弱耦合諧振式傳感器的線性化輸出檢測方法有效

專利信息
申請號: 201810356917.3 申請日: 2018-04-20
公開(公告)號: CN108761134B 公開(公告)日: 2020-02-14
發明(設計)人: 常洪龍;張和民;鐘紀明;楊晶 申請(專利權)人: 西北工業大學
主分類號: G01P21/00 分類號: G01P21/00
代理公司: 61204 西北工業大學專利中心 代理人: 呂湘連
地址: 710072 *** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 諧振式傳感器 弱耦合 線性化 振幅差 反相驅動 工作模態 輸出檢測 同相驅動 局部化 雙諧振 諧振器 模態 輸出線性化 微機電系統 二階模態 驅動條件 一階模態 輸出 分離點 檢測量 振幅比 傳感器 檢測
【權利要求書】:

1.一種雙諧振器驅動條件下弱耦合諧振式傳感器振幅差線性化輸出的檢測方法,其特征在于:包括如下步驟:

步驟一:判斷雙諧振器為同相驅動或反相驅動狀態,如為同相驅動,則選取一階模態作為工作模態,如為反相驅動,則選取二階模態作為工作模態;

步驟二:檢測兩諧振器的振幅差(|X1(jω)-X2(jω)|),通過振幅差的檢測方法實現了弱耦合諧振式傳感器的線性化輸出,得到了振幅差與待檢測量之間的關系。

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