[發明專利]一種巰基-烯納米壓印光刻膠及其使用方法

有效

• 申請號: 201810354663.1
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN108897192B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 龐浩;李桃;廖兵;年福偉;黃建恒;汪慧怡;韋代東;蒙業云;羅業燊
• 申請（專利權）人: 中科院廣州化學有限公司南雄材料生產基地;中科院廣州化學有限公司;中科院廣州化學所韶關技術創新與育成中心;南雄中科院孵化器運營有限公司;中國科學院大學
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 陳智英;裘暉

1.一種巰基-烯納米壓印光刻膠，其特征在于：包括以下按重量份數計的組分：含雙鍵的杯芳烴衍生物50-100份、含巰基的杯芳烴衍生物50-100份、稀釋劑20-100份、引發劑0.1-8份；

所述含雙鍵的杯芳烴衍生物為以下結構中一種以上：

所述含巰基的杯芳烴衍生物為以下結構中一種以上；

所述稀釋劑為含有兩個以上雙鍵的丙烯酸酯類化合物或者含有兩個以上雙鍵的甲基丙烯酸酯類化合物；

稀釋劑為以下結構化合物中一種以上：1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、六甘醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊基新戊酸-二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、二甲基丙烯酸甘油酯、二(2-甲基-2-丙烯酸)2-羥基-1,3-丙二醇酯、2,2-雙[甲基丙烯酰氧基]丙烷、1,1,1-三[丙烯酰氧基甲基]丙烷、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、四甘醇二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油三甲基丙烯酸酯、甘油三丙烯酸氧化丙烯酯、三羥甲基丙烷三乙烯氧化物丙烯酸酯、三羥基丙烷三甲基丙烯酸酯、三(N-丙烯酰氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-三酮。

2.根據權利要求1所述巰基-烯納米壓印光刻膠，其特征在于：所述引發劑為安息香乙醚、聯苯甲酰、二苯甲酮、甲基鄰苯甲酰基、2-羥基-4-(2-羥乙氧基)-2-甲基苯丙酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯、2-異丙基-噻噸-9-酮、4-苯基二苯甲酮、A-氧代苯乙酸甲酯、α-羥基異丁酰苯、2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-(4-嗎啉基)-1-丙酮中一種以上。

3.根據權利要求1～2任一項所述巰基-烯納米壓印光刻膠的使用方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)將含雙鍵的杯芳烴衍生物、含巰基的杯芳烴衍生物、稀釋劑、引發劑混合，配制成壓印光刻膠；

(2)將壓印光刻膠涂布到襯底上；

(3)將模板壓入涂布好的壓印光刻膠，待壓印光刻膠填充滿模板的空隙后，紫外光照射進行固化，固化完成脫除模板。

4.根據權利要求3所述巰基-烯納米壓印光刻膠的使用方法，其特征在于：步驟(2)中壓印光刻膠的厚度為50～500納米；步驟(3)中所述壓入的壓力為0.5～1.5atm；固化的時間為3～5min。