[發明專利]流量計的校準方法及裝置

有效

• 申請號: 201810354062.0
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN108613719B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 焦如意
• 申請（專利權）人: 徐州鑫宇光伏科技有限公司
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本發明涉及一種流量計的校準方法及裝置，其中方法包括：獲取待校準流量計腔體內的測試壓強和實際壓強；根據待校準流量計腔體內的測試壓強計算標準壓強；若實際壓強與標準壓強之間的差值達到預設閾值范圍，則根據差值調整流量計的歸零位置。本發明實施例通過對待校準流量計腔體的不同狀態下的壓強進行檢測，從而獲取待校準流量計腔體內的測試壓強和實際壓強，進而根據測試壓強計算標準壓強，并根據實際壓強與標準壓強之間的差值對待校準流量計進行校準，從而不需要使用流量計校準儀等外在測量儀器校準流量計，整個校準判斷過程可以在2分鐘內解決，并且無須停機校準，其校準過程簡單實用。

技術領域

本發明涉及太陽能電池技術，特別是涉及一種太陽能電池生產中流量計的校準方法及裝置。

背景技術

在硅太陽能電池生產中，無論是管式PECVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等離子體增強化學氣相沉積法)還是板式PECVD，流量計測量的準確與否都會影響成膜的好壞。因此，需要定期對流量計進行校準，但是目前常規的流量計校準方法需要使用校準儀等外在測量儀器進行校準，且不同的設備和流量計需要使用不同的校準儀，而且在校準時需要停機且校準時間較長，導致流量計校準過程耗時耗力。

發明內容

基于此，有必要針對目前太陽能電池生產中流量計校準需要使用外在測量儀器、且校準過程耗時耗力的問題，提供一種流量計的校準方法及裝置。

一種流量計的校準方法，包括：

獲取待校準流量計腔體內的測試壓強和實際壓強；

根據待校準流量計腔體內的測試壓強計算標準壓強；

若實際壓強與標準壓強之間的差值滿足預設閾值范圍，則根據差值調整待校準流量計的歸零位置。

在其中一個實施例中，獲取待校準流量計腔體內的測試壓強和實際壓強，包括：

在第一設備特氣管道關閉第一預設時間后，獲取待校準流量計腔體內的第一測試壓強；

在第二設備特氣管道打開第二預設時間后，獲取待校準流量計腔體內的第二測試壓強；

在第二設備特氣管道關閉第三預設時間后，獲取待校準流量計腔體內的實際壓強。

在其中一個實施例中，根據待校準流量計腔體內的測試壓強計算標準壓強，包括：根據待校準流量計腔體內的第一測試壓強和第二測試壓強計算標準壓強。

在其中一個實施例中，在第二設備特氣管道打開時，氣體按預設流量流入待校準流量計腔體。

在其中一個實施例中，第一設備特氣管道包括Ar特氣管道、TMA特氣管道和N2O特氣管道。

在其中一個實施例中，第二設備特氣管道為Ar特氣管道。

一種流量計的校準裝置，包括：

壓強獲取模塊，用于獲取待校準流量計腔體內的測試壓強和實際壓強；

計算模塊，用于根據待校準流量計腔體內的測試壓強計算標準壓強；

校準模塊，用于若實際壓強與標準壓強之間的差值達到預設閾值范圍，則根據差值調整流量計的歸零位置。

在其中一個實施例中，壓強獲取模塊包括：

第一測試壓強獲取單元，用于在第一設備特氣管道關閉第一預設時間后，獲取待校準流量計腔體內的第一測試壓強；

第二測試壓強獲取單元，用于在第二設備特氣管道打開第二預設時間后，獲取待校準流量計腔體內的第二測試壓強；

實際壓強獲取單元，用于在第二設備特氣管道關閉第三預設時間后，獲取待校準流量計腔體內的實際壓強。