[發明專利]一種聲表面橫波諧振濾波器

有效

• 申請號: 201810349548.5
• 申請日: 2018-04-18
• 公開（公告）號: CN108512525B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 周衛;楊正兵;朱明;黎亮;米佳;冷俊林;段偉;吳雪梅;劉冬梅
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: H03H9/54
• 分類號: H03H9/54;H03H9/64
• 代理公司: 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212
• 代理人: 黃河

本申請公開了一種聲表面橫波諧振濾波器，包括壓電石英基片，其特征在于，壓電石英基片上的依次梳狀設置有第一反射器、第一換能器、中間短路柵、第二換能器及第二反射器作為壓電石英基片的拓撲結構，第一換能器的兩端分別設置有第一電極及第二電極，第二換能器的兩端分別設置有第三電極及第四電極，其中：第一反射器及第二反射器的指條寬度大于指條之間間隙寬度，中間短路柵的指條寬度等于指條之間間隙寬度，第一換能器及第二換能器的指條寬度等于指條之間間隙寬度。本申請公開了作為濾波器應用的一種聲表面橫波諧振濾波器，與現有的濾波器相比具有通帶寬、帶內平坦度好、帶內波動小的優點，滿足了對高性能濾波器的要求。

技術領域

本申請涉及聲表面波器件技術領域，尤其涉及一種聲表面橫波諧振濾波器。

背景技術

壓電石英基片上激勵的聲表面橫波，具有高達5000m/s的聲速，在相同工藝條件下，能制作出比瑞利型聲表面波器件的頻率高1.6倍的器件，更適合于高頻應用。作為帶有反射柵的諧振結構的諧振器，要求諧振器具備高的Q值，因此諧振器的帶寬越窄越好。而作為濾波器應用的聲表面橫波諧振濾波器，對諧振器的性能要求并不局限于高頻率及低損耗，作為高性能濾波器，還要求通帶帶寬寬、通帶一致性好，即帶內波動小，且在不增加損耗的情況下，增加通帶頻帶帶寬，降低帶內波動，提高諧振濾波器的通帶性能。

因此，本申請公開了作為濾波器應用的一種聲表面橫波諧振濾波器，與現有的濾波器相比具有通帶波紋寬、帶內平坦度好、帶內波動小的優點，滿足了對高性能濾波器的要求。

發明內容

針對現有技術存在的上述不足，本申請公開了作為濾波器應用的一種聲表面橫波諧振濾波器，與現有的濾波器相比具有通帶波紋少、帶內波動小的優點，滿足了對高性能濾波器的要求。

為解決上述技術問題，本申請采用了如下的技術方案：

一種聲表面橫波諧振濾波器，包括壓電石英基片，所述壓電石英基片上的依次梳狀設置有第一反射器、第一換能器、中間短路柵、第二換能器及第二反射器作為所述壓電石英基片的拓撲結構，所述第一換能器的兩端分別設置有第一電極及第二電極，所述第二換能器的兩端分別設置有第三電極及第四電極，其中：

所述第一反射器及所述第二反射器的指條寬度大于指條之間間隙寬度，所述中間短路柵的指條寬度等于指條之間間隙寬度，所述第一換能器及所述第二換能器的指條寬度等于指條之間間隙寬度。

所述第一反射器及所述第二反射器的指條寬度為a21，所述第一反射器及所述第二反射器的指條之間間隙寬度為b21，1＜a21/b21≤1.3。

一種聲表面橫波諧振濾波器，包括壓電石英基片，所述壓電石英基片上的依次梳狀設置有第一反射器、第一換能器、中間短路柵、第二換能器及第二反射器作為所述壓電石英基片的拓撲結構，所述第一換能器的兩端分別設置有第一電極及第二電極，所述第二換能器的兩端分別設置有第三電極及第四電極，其中：

所述第一反射器及所述第二反射器的指條寬度等于指條之間間隙寬度，所述中間短路柵的指條寬度大于指條之間間隙寬度，所述第一換能器及所述第二換能器的指條寬度大于指條之間間隙寬度。

所述中間短路柵的指條寬度為a33，所述中間短路柵的指條之間間隙寬度為b33，1＜a33/b33≤1.3，所述第一換能器及所述第二換能器的指條寬度為a32，所述第一換能器及所述第二換能器的指條之間間隙寬度為b32，1＜a32/b32≤1.3。

一種聲表面橫波諧振濾波器，包括壓電石英基片，所述壓電石英基片上的依次梳狀設置有第一反射器、第一換能器、中間短路柵、第二換能器及第二反射器作為所述壓電石英基片的拓撲結構，所述第一換能器的兩端分別設置有第一電極及第二電極，所述第二換能器的兩端分別設置有第三電極及第四電極，其中：