[發(fā)明專利]探針卡裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810347589.0
• 申請(qǐng)日: 2018-04-18
• 公開（公告）號(hào): CN110389243B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳彥辰;蘇偉志;謝智鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣中華精測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強(qiáng)

本發(fā)明公開一種探針卡裝置，所述矩形探針包含上定位段、上接觸段、形變段、下定位段及下接觸段。所述上定位段包含有錯(cuò)位部、自錯(cuò)位部沿第一方向延伸的第一定位部及自錯(cuò)位部沿平行但相反于第一方向的第二方向延伸的第二定位部。在垂直所述第一方向的寬度方向上，第一定位部的寬度為錯(cuò)位部寬度的95％至25％，第二定位部的寬度為錯(cuò)位部寬度的95％至25％。上接觸段自第一定位部沿第一方向延伸所形成。所述形變段、下定位段及下接觸段依序自第二定位部沿第二方向延伸所形成。據(jù)此，提供一種結(jié)構(gòu)有別于以往的矩形探針。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種探針，尤其涉及一種探針卡裝置及其矩形探針。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片進(jìn)行測(cè)試時(shí)，測(cè)試設(shè)備是通過一探針卡裝置而與待測(cè)物電性連接，并借由信號(hào)傳輸及信號(hào)分析，以獲得待測(cè)物的測(cè)試結(jié)果。現(xiàn)有的探針卡裝置設(shè)有對(duì)應(yīng)待測(cè)物的電性接點(diǎn)而排列的多個(gè)探針，以借由上述多個(gè)探針同時(shí)點(diǎn)接觸待測(cè)物的相對(duì)應(yīng)電性接點(diǎn)。

更詳細(xì)地說，現(xiàn)有探針卡裝置的探針包含有以微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems，MEMS)技術(shù)所制造矩形探針，其外型可依據(jù)設(shè)計(jì)者需求而成形。然而，現(xiàn)有矩形探針的研發(fā)方向已被既有的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)所局限，因而難以提供有別于以往的技術(shù)效果。

于是，本發(fā)明人認(rèn)為上述缺陷可改善，乃特潛心研究并配合科學(xué)原理的運(yùn)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺陷的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例在于提供一種探針卡裝置及其矩形探針，其能有效地改善現(xiàn)有矩形探針?biāo)赡墚a(chǎn)生的缺陷。

本發(fā)明實(shí)施例公開一種探針卡裝置，包括一上導(dǎo)板單元、一下導(dǎo)板及多個(gè)矩形探針。上導(dǎo)板單元包含有彼此間隔設(shè)置的一第一導(dǎo)板與一第二導(dǎo)板；下導(dǎo)板間隔地位于所述第二導(dǎo)板遠(yuǎn)離所述第一導(dǎo)板的一側(cè)，并且所述下導(dǎo)板與所述第二導(dǎo)板之間的距離大于所述第一導(dǎo)板與所述第二導(dǎo)板之間的距離；多個(gè)矩形探針各包含一上定位段、一上接觸段、一形變段、一下定位段及一下接觸段。上定位段包含有一錯(cuò)位部、自所述錯(cuò)位部沿一第一方向延伸的一第一定位部及自所述錯(cuò)位部沿平行但相反于所述第一方向的一第二方向延伸的一第二定位部，并且平行所述第一方向的所述第一定位部的一中心軸線未重疊于平行所述第二方向的所述第二定位部的一中心軸線；其中，在垂直所述第一方向的一寬度方向上，所述第一定位部的寬度為所述錯(cuò)位部寬度的95％至25％，并且所述第二定位部的寬度為所述錯(cuò)位部寬度的95％至25％；上接觸段自所述第一定位部沿所述第一方向延伸所形成；一形變段、一下定位段及一下接觸段，依序自所述第二定位部沿所述第二方向延伸所形成；其中，多個(gè)所述矩形探針的所述上定位段分別位于所述上導(dǎo)板單元內(nèi)，多個(gè)所述矩形探針的所述下定位段分別位于所述下導(dǎo)板內(nèi)，而多個(gè)所述矩形探針的所述形變段位于所述第二導(dǎo)板與所述下導(dǎo)板之間；其中，當(dāng)所述第一導(dǎo)板相對(duì)于所述第二導(dǎo)板沿所述寬度方向位移時(shí)，所述第一導(dǎo)板與所述第二導(dǎo)板分別沿相反方向頂?shù)钟诿總€(gè)所述矩形探針的所述第一定位部與所述第二定位部，并且每個(gè)所述矩形探針的所述錯(cuò)位部位于所述第一導(dǎo)板與所述第二導(dǎo)板之間。

優(yōu)選地，于每個(gè)所述矩形探針中，所述第一定位部的所述中心軸線以及所述第二定位部的所述中心軸線相隔有介于一錯(cuò)位距離，并且所述錯(cuò)位距離介于3微米至280微米。

優(yōu)選地，于每個(gè)所述矩形探針中，所述錯(cuò)位部與所述第一定位部共同形成有一第一角落，并且所述錯(cuò)位部與所述第二定位部共同形成有一第二角落；當(dāng)所述第一導(dǎo)板相對(duì)于所述第二導(dǎo)板沿所述寬度方向位移時(shí)，所述第一導(dǎo)板頂?shù)钟谒龅谝唤锹洌⑶宜龅诙?dǎo)板頂?shù)钟谒龅诙锹洹?/p>

優(yōu)選地，于每個(gè)所述矩形探針中，所述上接觸段呈直條狀，并且垂直所述第一方向的所述上接觸段的任一截面的面積皆不大于垂直所述第一方向的所述第一定位部的任一截面的面積。

優(yōu)選地，當(dāng)所述上導(dǎo)板單元相對(duì)于所述下導(dǎo)板沿垂直所述第二方向的一傾斜方向進(jìn)行偏移時(shí)，所述上導(dǎo)板單元與所述下導(dǎo)板壓迫每個(gè)所述矩形探針的所述上定位段與所述下定位段，以使每個(gè)所述矩形探針的所述形變段受力而呈彎曲且形變狀。