[發(fā)明專利]具有過濾器的容器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810346480.5
• 申請日: 2013-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN108570657A
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: C·M·伯特徹;T·A·斯特德爾;雷新建;S·V·伊瓦諾夫
• 申請（專利權(quán)）人: 弗薩姆材料美國有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/02;B01D7/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 吳亦華;呂小羽

1.一種容器，用于從所述容器內(nèi)含有的前體材料中傳輸含前體的流體流，所述容器包括：由頂、一個(gè)或多個(gè)側(cè)壁及底限定的內(nèi)部體積；和至少一個(gè)用于氣化的前體的流體出口，和至少一個(gè)顆粒屏障，所述至少一個(gè)顆粒屏障限定了在內(nèi)部體積中的至少一個(gè)顆粒限制空間的至少部分，其中所述至少一個(gè)顆粒屏障包括至少一個(gè)管狀或杯狀的三維過濾器，所述三維過濾器的長度、寬度和高度和/或直徑和長度各自大于過濾材料的厚度；

其中所述至少一個(gè)顆粒限制空間與所述至少一個(gè)出口流體連通，并且所述至少一個(gè)顆粒限制空間與部分內(nèi)部體積以顆粒限制的流體連通，所述部分內(nèi)部體積不包括與所述至少一個(gè)出口流體連通的所述至少一個(gè)顆粒限制空間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器，其進(jìn)一步包括至少一個(gè)入口，所述入口將至少一種載氣導(dǎo)入至所述容器的內(nèi)部體積中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的容器，其中所述至少一個(gè)顆粒限制空間與所述至少一個(gè)入口流體連通，并且所述至少一個(gè)顆粒限制空間與部分內(nèi)部體積以顆粒限制的流體連通，所述部分內(nèi)部體積不包括與所述至少一個(gè)入口流體連通的所述至少一個(gè)顆粒限制空間。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)所述的容器，進(jìn)一步地，其中所述至少一個(gè)顆粒限制空間包括至少一個(gè)第一顆粒限制空間和至少一個(gè)第二顆粒限制空間，所述至少一個(gè)第一和至少一個(gè)第二顆粒限制空間的每個(gè)都包括至少一個(gè)過濾器，其中所述至少一個(gè)第一顆粒限制空間與所述至少一個(gè)流體出口流體連通，且所述至少一個(gè)第二顆粒限制空間與所述至少一個(gè)流體入口流體連通，和所述至少一個(gè)第一和第二顆粒限制空間與所述部分內(nèi)部體積以顆粒限制的流體連通，所述部分內(nèi)部體積不包括所述至少一個(gè)第一和第二顆粒限制空間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的容器，其中所述第二顆粒屏障包括至少一個(gè)二維過濾器。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的容器，其中所述第二顆粒屏障包括所述至少一個(gè)三維過濾器。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)所述的容器，其中所述顆粒屏障與以下的一個(gè)或多個(gè)連接：延伸進(jìn)入內(nèi)部體積的入口管、延伸進(jìn)入內(nèi)部體積的出口管、所述一個(gè)或多個(gè)側(cè)壁、所述頂或所述底。

8.根據(jù)前述任一權(quán)利要求任一項(xiàng)所述的容器，進(jìn)一步地，其中所述頂是蓋，并且進(jìn)一步包括至少一個(gè)流體入口和穿過所述蓋的所述至少一個(gè)流體出口，所述至少一個(gè)流體入口穿過所述蓋并將至少一種載氣導(dǎo)入所述容器內(nèi)部體積中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器，其中所述至少一個(gè)三維過濾器包括選自單個(gè)杯或多個(gè)杯的杯，優(yōu)選單個(gè)杯。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的容器，其中所述杯進(jìn)一步包括在杯中的管。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)所述的容器，其中所述至少一個(gè)過濾器具有選自如下的至少一個(gè)：

大于20平方英寸的表面積；

大于或等于0.25英寸^-1的體積設(shè)計(jì)因子；和

大于0.8英寸的表面積設(shè)計(jì)因子。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)所述的容器，其包括多個(gè)所述出口，所述出口的每一個(gè)都具有在其上的顆粒屏障。