[發(fā)明專利]基于調(diào)制弱值放大技術(shù)的相位分布測(cè)量裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810346175.6
• 申請(qǐng)日: 2018-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108645796B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志友;李兆雪;邱曉東;謝林果;羅蘭;劉雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/21
• 分類號(hào): G01N21/21
• 代理公司: 成都科海專利事務(wù)有限責(zé)任公司 51202
• 代理人: 郭萍

1.一種基于調(diào)制弱值放大技術(shù)的相位分布測(cè)量裝置，其特征在于包括發(fā)光單元、系統(tǒng)前選擇態(tài)單元、第一相位補(bǔ)償單元、偏振分束單元、樣品耦合單元、偏振合束單元、系統(tǒng)后選擇態(tài)單元和光信息采集單元；所述樣品耦合單元包括載物臺(tái)以及裝載在載物臺(tái)上的待測(cè)樣品；所述系統(tǒng)后選擇態(tài)單元由偏振態(tài)選擇器和第二相位補(bǔ)償子單元組成；

所述相位分布測(cè)量裝置中的光路走向?yàn)椋?/p>

由發(fā)光單元發(fā)出的光束經(jīng)系統(tǒng)前選擇態(tài)單元制備為線偏振光，線偏振光經(jīng)第一相位補(bǔ)償單元進(jìn)行相位補(bǔ)償后再經(jīng)偏振分束單元分為兩束偏振態(tài)相互正交的偏振光，兩束偏振光一束進(jìn)入樣品，另一束穿過(guò)載物臺(tái)作為參考光束，從樣品透射的偏振光束與參考光束經(jīng)偏振合束單元合并為一束橢圓偏振光，再經(jīng)系統(tǒng)后選擇態(tài)單元后由光信息采集單元接收；通過(guò)設(shè)定的系統(tǒng)前選擇態(tài)單元和系統(tǒng)后選擇態(tài)單元，將經(jīng)歷相位延遲的合成光束投影在給定的后選擇態(tài)上，通過(guò)對(duì)系統(tǒng)后選擇態(tài)單元的后選擇角φ及第一相位補(bǔ)償單元的補(bǔ)償相位β進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，直至獲得清晰的二維分布圖像，并將其作為相位分布測(cè)量的成像分析結(jié)果；

或者，由發(fā)光單元發(fā)出的光束經(jīng)系統(tǒng)前選擇態(tài)單元制備為線偏振光，線偏振光經(jīng)第一相位補(bǔ)償單元進(jìn)行相位補(bǔ)償后再經(jīng)偏振分束單元分為兩束偏振態(tài)相互正交的偏振光，兩束偏振光進(jìn)入樣品，從樣品透射的兩偏振光經(jīng)偏振合束單元合并為一束橢圓偏振光，再經(jīng)系統(tǒng)后選擇態(tài)單元后由光信息采集單元接收；通過(guò)設(shè)定的系統(tǒng)前選擇態(tài)單元和系統(tǒng)后選擇態(tài)單元，將經(jīng)歷相位延遲的合成光束投影在給定的后選擇態(tài)上，通過(guò)對(duì)系統(tǒng)后選擇態(tài)單元的后選擇角φ及第一相位補(bǔ)償單元的補(bǔ)償相位β進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，直至獲得清晰的二維分布圖像，并將其作為相位分布測(cè)量的成像分析結(jié)果。

2.一種基于調(diào)制弱值放大技術(shù)的相位分布測(cè)量裝置，其特征在于包括發(fā)光單元、系統(tǒng)前選擇態(tài)單元、第一相位補(bǔ)償單元、分束鏡、偏振分束單元、樣品耦合單元、系統(tǒng)后選擇態(tài)單元和光信息采集單元；所述樣品耦合單元包括載物臺(tái)以及裝載在載物臺(tái)上的待測(cè)樣品，載物臺(tái)的一面鍍有反射膜或安裝有可調(diào)反射鏡；所述系統(tǒng)后選擇態(tài)單元由偏振態(tài)選擇器和第二相位補(bǔ)償子單元組成；

所述相位分布測(cè)量裝置中的光路走向?yàn)椋?/p>

由發(fā)光單元發(fā)出的光束經(jīng)系統(tǒng)前選擇態(tài)單元制備為線偏振光，線偏振光經(jīng)第一相位補(bǔ)償單元進(jìn)行相位補(bǔ)償后入射到分束鏡上，從分束鏡出射的光束經(jīng)偏振分束單元分為兩束偏振態(tài)相互正交的偏振光，兩束偏振光一束進(jìn)入樣品，另一束進(jìn)入載物臺(tái)作為參考光束，從樣品反射出的偏振光束與經(jīng)載物臺(tái)反射膜或可調(diào)反射鏡反射的參考光束經(jīng)偏振分束單元再次合并為一束橢圓偏振光，橢圓偏振光束繼后經(jīng)分束鏡和系統(tǒng)后選擇態(tài)單元后由光信息采集單元接收；通過(guò)設(shè)定的系統(tǒng)前選擇態(tài)單元和系統(tǒng)后選擇態(tài)單元，將經(jīng)歷相位延遲的合成光束投影在給定的后選擇態(tài)上，通過(guò)對(duì)系統(tǒng)后選擇態(tài)單元的后選擇角φ及第一相位補(bǔ)償單元的補(bǔ)償相位β進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，直至獲得清晰的二維分布圖像，并將其作為相位分布測(cè)量的成像分析結(jié)果

或者，由發(fā)光單元發(fā)出的光束經(jīng)系統(tǒng)前選擇態(tài)單元制備為線偏振光，線偏振光經(jīng)第一相位補(bǔ)償單元進(jìn)行相位補(bǔ)償后入射到分束鏡上，從分束鏡出射的光束經(jīng)偏振分束單元分為兩束偏振態(tài)相互正交的偏振光，兩束偏振光進(jìn)入樣品，從樣品反射出的兩束偏振光經(jīng)偏振分束單元再次合并為一束橢圓偏振光，橢圓偏振光束繼后經(jīng)分束鏡和系統(tǒng)后選擇態(tài)單元后由光信息采集單元接收；通過(guò)設(shè)定的系統(tǒng)前選擇態(tài)單元和系統(tǒng)后選擇態(tài)單元，將經(jīng)歷相位延遲的合成光束投影在給定的后選擇態(tài)上，通過(guò)對(duì)系統(tǒng)后選擇態(tài)單元的后選擇角φ及第一相位補(bǔ)償單元的補(bǔ)償相位β進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，直至獲得清晰的二維分布圖像，并將其作為相位分布測(cè)量的成像分析結(jié)果。