[發(fā)明專利]鋁鈧合金靶材制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810344642.1
• 申請(qǐng)日: 2018-04-17
• 公開（公告）號(hào): CN108441827A
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余鵬;宋覺敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙迅洋新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;B22F1/00;B22F3/14;C22C21/00
• 代理公司: 北京紐樂康知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11210
• 代理人: 羅莎

1.鋁鈧合金靶材制備方法，其特征在于：其包括以下具體步驟：

步驟一、選取純度在99.5%以上且粒度為10μm～165μm的金屬鋁粉末，選取純度在99.5%以上且粒度為10μm～240μm的金屬鈧粉末，按金屬鋁粉末的質(zhì)量百分比含量為50%～98%、金屬鈧粉末的質(zhì)量百分比含量為2%～50%的質(zhì)量比要求將兩種粉末混合均勻；

步驟二、將經(jīng)步驟一混合后的混合粉末裝入模具中，并在室溫下進(jìn)行預(yù)壓緊，預(yù)壓緊的壓緊力為20～35MPa；

步驟三、將預(yù)壓緊的模具放入真空熱壓機(jī)中，真空熱壓機(jī)抽真空達(dá)到6.7×10^-2～6.7×10^-3Pa后，進(jìn)入燒結(jié)階段，而后冷卻至室溫；其中，燒結(jié)階段包括低溫階段和高溫階段，低溫階段：燒結(jié)溫度從室溫升溫到500℃～600℃、保溫10～45min，高溫階段：燒結(jié)溫度從低溫階段繼續(xù)升溫至800℃～1000℃、燒結(jié)壓力為10～100MPa、保溫時(shí)間為10～45min，冷卻壓力為5MPa，冷卻至室溫后完全卸除壓力；

步驟四、冷卻至室溫后，去除真空并卸除模具壓力，獲得燒結(jié)成型的鋁鈧合金靶材的坯料，而后進(jìn)行機(jī)加工獲得鋁鈧合金靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁鈧合金靶材制備方法，其特征在于：在步驟二中，預(yù)壓緊時(shí)，模具的壓頭僅沿壓緊方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁鈧合金靶材制備方法，其特征在于：在步驟一中，混料時(shí)，首先采用電子天平稱量所需份量的金屬鋁粉末和金屬鈧粉末，然后在三維混料機(jī)中進(jìn)行充分混合，其中，混料時(shí)間為40～60min。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鋁鈧合金靶材制備方法，其特征在于：混料時(shí)，在三維混料機(jī)的混料筒中充入保護(hù)氣體，以減少粉末在混料過程中的氧化。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鋁鈧合金靶材制備方法，其特征在于：該保護(hù)氣體設(shè)為氬氣。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁鈧合金靶材制備方法，其特征在于：在步驟四中，采用 車床車加工或者磨床磨削對(duì)鋁鈧合金靶材的坯料進(jìn)行加工，獲得鋁鈧合金靶材。