[發明專利]一種制備自分層復合結構鉻鋁氮超硬膜的鍍膜處理方法在審
| 申請號： | 201810344229.5 | 申請日： | 2018-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN108504998A | 公開（公告）日： | 2018-09-07 |
| 發明（設計）人： | 曾德長;周晟昊;邱兆國;張友生;匡同春 | 申請（專利權）人： | 廣東正德材料表面科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 張海文 |
| 地址： | 528400 廣東省中山*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鉻鋁 制備 工件架 基材 分層復合結構 鍍膜處理 超硬膜 硬質膜 彈性模量 電弧離子鍍技術 氮氣 陰極 納米復合結構 低溫循環水 電弧離子鍍 行星式旋轉 氬離子轟擊 薄膜形成 超聲清洗 合理設置 輝光放電 密封腔室 顯微硬度 傳統的 負電位 蒸發源 烘干 并置 鍍膜 多層 分層 腔室 裝夾 冷卻 清洗 取出 微觀 點燃 施加 室內 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備自分層復合結構鉻鋁氮超硬膜的鍍膜處理方法，其特征在于，包括如下步驟:
(1)將基材進行超聲清洗，烘干后裝夾于可行星式旋轉的工件架上，并置入密封腔室；
(2)采用輝光放電對基材進行氬離子轟擊清洗；
(3)點燃陰極蒸發源，向腔室內通入氮氣，在基材上施加負電位并開動工件架，使用電弧離子鍍進行鉻鋁氮硬質膜的制備；
(4)鍍膜結束后，通過低溫循環水對腔室進行冷卻，取出即得。
2.根據權利要求1所述的一種制備自分層復合結構鉻鋁氮超硬膜的鍍膜處理方法，其特征在于，步驟(1)中，所述的超聲清洗是將基材置于乙醇中超聲清洗5-15分鐘。
3.根據權利要求1所述的一種制備自分層復合結構鉻鋁氮超硬膜的鍍膜處理方法，其特征在于，步驟(2)中，用氬氣作為輝光放電氣體，氣壓為1.0-2.5Pa，時間為1-2小時。
4.根據權利要求1所述的一種制備自分層復合結構鉻鋁氮超硬膜的鍍膜處理方法，其特征在于，步驟(3)中，通入氮氣后爐內氣壓保持在1.5-3.5Pa，腔室內溫度保持在400-600℃，基材負偏壓為65-185V，工件架轉動速度為2-10rpm。
5.根據權利要求1所述的一種制備自分層復合結構鉻鋁氮超硬膜的鍍膜處理方法，其特征在于，步驟(4)中，鍍膜結束后工件在腔室中隨爐冷卻至100℃以下取出。
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