[發(fā)明專利]一種溫度補償聲表面波濾波器及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810341933.5 | 申請日： | 2018-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN108539006A | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王國浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 杭州左藍微電子技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | H01L41/04 | 分類號： | H01L41/04;H01L41/083;H01L41/22;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 常玉明 |
| 地址： | 311228 浙江省杭州市杭州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 溫度補償 聲表面波諧振器 溫度補償材料 壓電材料基板 金屬叉 制備 聲表面波濾波器 頻率溫度系數(shù) 補償材料 良率 壓電 | ||
1.一種聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
在壓電材料基板上制備第一溫度補償材料層；
圖形化所述第一溫度補償材料層，形成叉指槽；
在所述第一溫度補償材料層上生長金屬層，平坦化所述金屬層，形成金屬叉指結(jié)構(gòu)；
生長第二溫度補償層，所述第二溫度補償層覆蓋所述第一溫度補償材料層和所述金屬叉指結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：還包括圖形化所述第二溫度補償層，形成電極開口的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：還包括平坦化所述第二溫度補償層的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：所述第一溫度補償材料層或者所述第二溫度補償材料層的材質(zhì)包括二氧化硅、氮氧化硅或其組合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：所述壓電材料基板的材質(zhì)包括鈮酸鋰、鉭酸鋰、氮化鋁或氧化鋅。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：所述第一溫度補償材料層或者所述第二溫度補償材料層的制備工藝包括熱氧化或者化學(xué)氣相沉積。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器的制備方法，其特征在于：所述金屬層的材質(zhì)包括鋁、鈦、銅、鉻、銀等或者它們的組合。
8.一種聲表面波濾波器，根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述制備方法所制備。
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