[發明專利]可拉伸柔性液池及其制作方法

有效

• 申請號: 201810340660.2
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN108562544B
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 畢可東;齊晗;趙偉瑋;張洪澤;陳云飛
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N21/03
• 分類號: G01N21/03
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種可拉伸柔性液池，包括上液池和下液池，所述上液池和下液池之間依次設有石墨烯層和襯底，其特征在于：所述襯底為柔性襯底，所述上液池由石墨烯層、以及對置于石墨烯層兩側的柔性襯底圍成，所述石墨烯層置于上液池底部用于過濾離子；所述柔性襯底內設用于離子流動的通道；

所述柔性襯底采用PDMS和PMMA的雙層膜或PDMS和SU-8的雙層膜，所述石墨烯層分別與PMMA或SU-8接觸；其中，PMMA或SU-8層位于石墨烯層的下方，PDMS層的頂部圍成所述上液池的槽，所述PDMS層托住PMMA或SU-8層，PMMA或SU-8層中設有通孔，兩側的PDMS層之間設有與所述通孔相對應的通道；

所述PMMA或SU-8層的厚度為0.8～1.2微米，所述通孔的直徑為1～5微米，所述通道的直徑為500微米到3厘米。

2.一種制作權利要求1所述可拉伸柔性液池的方法，其特征在于包括如下步驟：在基底上制作石墨烯層，在石墨烯層上制備柔性襯底，之后在柔性襯底中制作通道，然后將基底去除，最后將上液池、石墨烯層和襯底以及下液池組裝好后即得可拉伸柔性液池；具體內容如下：

(1)將石墨烯剝離在基底上，形成石墨烯層，在石墨烯層上旋涂PMMA；

(2)在覆蓋石墨烯的PMMA層上使用電子束刻蝕做標記，確定石墨烯具體位置后，再用電子束刻蝕去掉覆蓋在石墨烯上的PMMA，形成PMMA通孔；

(3)對PDMS打通孔，在光學顯微鏡下將PMMA通孔和PDMS通孔對準，使其粘附在一起，之后放入堿溶液中，脫除二氧化硅襯底；

(4)將上液池、石墨烯層和襯底以及下液池組裝好后即得可拉伸柔性液池。

3.根據權利要求2所述可拉伸柔性液池的制作方法，其特征在于：步驟(3)中所述標記為十字叉絲，且確定石墨烯具體位置的步驟為：在光學顯微鏡下確定每個十字叉絲與石墨烯x、y方向的距離，之后將其放入電子顯微鏡真空腔中，通過找到十字叉絲的位置從而確定石墨烯具體位置。