[發(fā)明專利]一種全碳憶阻器及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810339076.5
• 申請日: 2018-04-16
• 公開（公告）號: CN108682738B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 諸葛飛;竺臻楠;俞家歡;曹鴻濤
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
• 主分類號: H01L45/00
• 分類號: H01L45/00
• 代理公司: 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33224
• 代理人: 劉誠午

1.一種全碳憶阻器的制備方法，其特征在于，包括：

(1)采用抽濾法在襯底上制備石墨烯底電極層；

(2)采用抽濾法在石墨烯底電極層上轉(zhuǎn)移氧化石墨烯中間介質(zhì)層；

(3)采用抽濾法在氧化石墨烯中間介質(zhì)層上轉(zhuǎn)移石墨烯頂電極層；

步驟(1)中，包括：

(1-1)將高純鱗片石墨粉末加入到丙酮水溶液中，得到0.01～20mg/ml的石墨分散液；

(1-2)將石墨分散液置于超聲清洗機中震蕩1～10h，得到含有石墨烯的石墨烯分散液，經(jīng)靜置、離心、靜置后，采用真空抽濾法將石墨烯分散液抽濾到濾膜上，在濾膜上得到完整的石墨烯薄膜；

(1-3)將含有石墨烯薄膜的濾膜倒置在清洗后的襯底上，使用無水乙醇進(jìn)行貼附，使用丙酮浸泡處理使濾膜溶解，經(jīng)清洗干燥后制得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全碳憶阻器的制備方法，其特征在于，含有石墨烯的石墨烯分散液靜置3～50h后，進(jìn)行100～10000rpm、10min～12h的離心處理，得到均勻的石墨烯分散液，再靜置3～50h后采用真空抽濾法將石墨烯分散液抽濾到濾膜上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全碳憶阻器的制備方法，其特征在于，步驟(2)中，包括：

(2-1)將氧化石墨烯粉末加入到去離子水中，得到0.002～10mg/ml的氧化石墨烯分散液；

(2-2)將氧化石墨烯分散液置于超聲清洗機中震蕩1～10h，經(jīng)靜置、離心、靜置后，采用真空抽濾法將氧化石墨烯分散液抽濾到濾膜上，在濾膜上得到完整的氧化石墨烯薄膜；

(2-3)將含有氧化石墨烯薄膜的濾膜倒置在步驟(1)得到的石墨烯底電極層上，使用無水乙醇進(jìn)行貼附，使用丙酮浸泡處理使濾膜溶解，經(jīng)清洗干燥后制得氧化石墨烯/石墨烯/襯底的結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的全碳憶阻器的制備方法，其特征在于，氧化石墨烯分散液經(jīng)超聲振蕩后，靜置后進(jìn)行100～40000rpm、5min～10h的離心處理，再靜置3～50h后采用真空抽濾法將氧化石墨烯分散液抽濾到濾膜上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全碳憶阻器的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，包括：

(3-1)將高純鱗片石墨粉末加入到丙酮水溶液中，得到0.01～20mg/ml的石墨分散液；

(3-2)將石墨分散液置于超聲清洗機中震蕩1～10h，得到含有石墨烯的石墨烯分散液，經(jīng)靜置、離心、靜置后，利用金屬掩膜板，采用真空抽濾法將石墨烯分散液抽濾到濾膜上，在濾膜上得到石墨烯頂電極；

(3-3)將含有石墨烯頂電極的濾膜倒置在步驟(2)得到的氧化石墨烯中間介質(zhì)層上，使用無水乙醇進(jìn)行貼附，使用丙酮浸泡處理使濾膜溶解，經(jīng)清洗干燥后制得。

6.一種全碳憶阻器，其特征在于，由權(quán)利要求1～5任一項所述方法制備得到。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的全碳憶阻器，其特征在于，自下而上依次包括襯底、石墨烯底電極層、氧化石墨烯中間介質(zhì)層和石墨烯頂電極層，其中，石墨烯底電極層和石墨烯頂電極層的厚度為0.35～500nm，氧化石墨烯中間介質(zhì)層的厚度為1～300nm。