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[發明專利]光學對位檢測裝置及其檢測方法有效

專利信息
申請號: 201810338530.5 申請日: 2018-04-16
公開(公告)號: CN110389019B 公開(公告)日: 2021-04-30
發明(設計)人: 洪國智;李朱育 申請(專利權)人: 陽程科技股份有限公司
主分類號: G01M11/02 分類號: G01M11/02
代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139 代理人: 孫皓晨;侯奇慧
地址: 中國臺*** 國省代碼: 臺灣;71
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摘要:
搜索關鍵詞: 光學 對位 檢測 裝置 及其 方法
【權利要求書】:

1.一種光學對位檢測裝置,包括檢測單元、偏光調整單元及待檢測物,其特征在于:

該檢測單元包括投射光源的光源發射器、接收光源后進行擴展的光束擴展器及接收光源并進行檢測的光檢測器;

該偏光調整單元設置于光束擴展器與光檢測器之間,包括位于近光束擴展器一側的第一光線偏光片、位于近光檢測器一側的第二光線偏光片及波片,波片設置在第一光線偏光片與第二光線偏光片之間;及

該待檢測物設置于檢測單元的波片與第二光線偏光片之間,通過檢測單元的光源配合偏光調整單元進行偏光調整,以校正待檢測物的偏振光源角度。

2.如權利要求1所述的光學對位檢測裝置,其特征在于,該檢測單元中的光源發射器為激光光源發射器,以發射波長為532nm的綠光激光光源且功率為20mw。

3.如權利要求1所述的光學對位檢測裝置,其特征在于,該檢測單元中的光源發射器一側具有向外投射激光光源的光源投射孔,光束擴展器一側設有對位光源投射孔的光源接收面,另一側設有將激光光源向外擴充至偏光調整單元以增加待檢測物的檢測面積的光源擴展面;且該光束擴展器為可變光的光束擴展器,且將所接收光源進行2倍?8倍放大。

4.如權利要求1所述的光學對位檢測裝置,其特征在于,該偏光調整單元中的第一光線偏光片和第二光線偏光片分別為含納米級硅酸鈉的玻璃片;波片材料為結晶石英并產生相位延遲波長或其它相位延遲的波片;且受到檢測單元和偏光調整單元檢測的待檢測物為佩戴式眼鏡的光學鏡片。

5.一種光學對位檢測方法,該方法通過檢測單元、偏光調整單元及待檢測物而實施,其特征在于,對待檢測物進行檢測的步驟如下:

(A)檢測單元中的光源發射器投射光源至光束擴展器;

(B)光束擴展器將接收的光源進行擴展后,再將光源投射至偏光調整單元及待檢測物;

(C)光束擴展器投射光源穿透偏光調整單元中的第一光線偏光片和波片,以供第一光線偏光片和波片產生旋轉的圓偏振光;

(D)光源再依序穿透待檢測物及第二光線偏光片后,即被檢測單元的光檢測器接收;

(E)光檢測器檢測穿透偏光調整單元及待檢測物的光源,若待檢測物與波片產生偏振光旋轉方向相反,即執行步驟(F);若待檢測物與波片產生偏振光旋轉方向相同,即執行步驟(G);

(F)圓偏振光穿透待檢測物后,圓偏振光旋轉方向完全抵消,還原圓偏振方向,以使得第一光線偏光片與第二光線偏光片的穿透軸形成正交,以使得光源穿透待檢測物和第二光線偏光片時,圓偏振光源被抵消,光檢測器接收光源強度趨近于最小值0;

(G)待檢測物與波片產生圓偏振光旋轉方向未完全抵消,偏振光源穿透待檢測物及第二光線偏光片后產生橢圓偏振光,而經由第二光線偏光片穿透軸限制,留下穿透軸方向的橢圓偏振光,則光檢測器所接收的光源強度不為零,即由光檢測器利用接收光源的強度關系,計算出待檢測物的偏光旋轉角度。

6.如權利要求5所述的光學對位檢測方法,其特征在于,步驟(A)中,檢測單元中的光源發射器為激光光源發射器,以供發射波長為532nm的綠光激光光源且功率為20mw,且光源發射器一側具有向外投射激光光源的光源投射孔,光束擴展器一側設有對位光源投射孔的光源接收面,另一側設有將激光光源向外擴充至偏光調整單元以增加待檢測物的檢測面積的光源擴展面。

7.如權利要求5所述的光學對位檢測方法,其特征在于,步驟(B)中,檢測單元中的光束擴展器為可變光束擴展器,且將所接收光源進行2倍?8倍放大,該光束擴展器接收光源后投射至偏光調整單元及待檢測物,從而于偏光調整單元的第一光線偏光片、波片、待檢測物、第二光線偏光片及光檢測器間形成光源穿透的穿透軸。

8.如權利要求5所述的光學對位檢測方法,其特征在于,步驟(B)、(C)和(D)中的偏光調整單元中的第一光線偏光片和第二光線偏光片分別為含納米級硅酸鈉的玻璃片;波片材料為結晶石英并產生相位延遲波長或其它相位延遲的波片;且受到檢測單元和偏光調整單元檢測的待檢測物為佩戴式眼鏡的光學鏡片。

9.如權利要求5所述的光學對位檢測方法,其特征在于,該檢測單元中的光檢測器為包括有預設電路布局和內建應用程序的處理器或芯片。

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