[發(fā)明專利]一種抽真空除氣工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810335782.2
• 申請(qǐng)日: 2018-04-16
• 公開（公告）號(hào): CN108758325B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 明長友;鄒波;鄒琴;雒川
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都科瑞爾低溫設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): F17C1/12
• 分類號(hào): F17C1/12;F17C5/06;F04B41/06;F04B37/14
• 代理公司: 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 韓雪

1.一種抽真空除氣工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、將被抽產(chǎn)品進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；

步驟2、對(duì)檢漏合格的被抽產(chǎn)品安裝抽空機(jī)組、溫度監(jiān)控裝置、真空聯(lián)程表以及內(nèi)、外架加熱裝置；啟動(dòng)內(nèi)、外加熱裝置，對(duì)被抽產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)、外加熱；

步驟3、第一次充氮：利用抽空機(jī)組中的抽真空主管道對(duì)被抽產(chǎn)品緩慢充入高純熱氮?dú)猓^察真空聯(lián)程表上的讀數(shù)，當(dāng)其顯示值大于或等于0時(shí)，停止充氣；

步驟4、第一次悶氣：對(duì)被抽產(chǎn)品的內(nèi)、外表面及夾層全面加熱至140℃-155℃，加熱時(shí)間為16h；

步驟5、第一次預(yù)抽真空：在被抽產(chǎn)品內(nèi)、外表面加熱持續(xù)的狀態(tài)下，開啟抽空機(jī)組中的機(jī)械泵和羅茨泵，對(duì)抽真空主管道和被抽產(chǎn)品進(jìn)行排氣；

步驟6、第二次充氮：關(guān)閉機(jī)械泵和羅茨泵，并在吹除充氣管內(nèi)殘余空氣后，將步驟3中同樣的高純熱氮?dú)饩徛淙氤榭諜C(jī)組的管道系統(tǒng)及被抽產(chǎn)品的夾層中，觀察真空聯(lián)程表的讀數(shù)，當(dāng)其上顯示的充氣壓強(qiáng)大于或等于大氣壓強(qiáng)，即0位略偏上時(shí)，停止充氣；

步驟7、第二次悶氣：充氣結(jié)束后，使被抽產(chǎn)品在充入的熱氮?dú)庵谐掷m(xù)加熱升溫至100℃-180℃，悶氣時(shí)間0.5h-2h；

步驟8、第二次預(yù)抽真空，開啟機(jī)械泵、羅茨泵，對(duì)管道系統(tǒng)和被抽產(chǎn)品排氣，排氣時(shí)間為0.5h-2h；

步驟9、按照步驟3進(jìn)行第三次充氮，按照步驟7進(jìn)行第三次悶氣，按照步驟8進(jìn)行第三次預(yù)抽真空；

步驟10、重復(fù)步驟9的操作，進(jìn)行第四次充氮、第四次悶氣和第四次預(yù)抽真空；待排氣結(jié)束后，準(zhǔn)備抽高真空，按照油擴(kuò)散泵的工作條件，提前開啟油擴(kuò)散泵的電爐加熱，備用；

步驟11、利用機(jī)械泵、羅茨泵對(duì)管道系統(tǒng)抽低真空，當(dāng)測量抽空管道的真空度P＜10Pa時(shí)，開啟油擴(kuò)散泵不間斷抽高真空；當(dāng)測量抽空管道的真空度P＜5×10^-1Pa時(shí)，開始間斷抽高真空；

步驟12、循環(huán)步驟11的抽空過程，當(dāng)被抽產(chǎn)品抽真空5-7天后，測量產(chǎn)品夾層的靜態(tài)壓強(qiáng)回升值，并計(jì)算出漏放氣速率，連續(xù)兩次計(jì)算值應(yīng)小于或等于5×10^-6Pa·m³/S，其中靜態(tài)瞬間極限真空度P1應(yīng)小于或等于2.2Pa，再靜置17h后測量出夾層的真空度P₂；

步驟13、提前停止對(duì)被抽產(chǎn)品的內(nèi)、外表面加熱，待被抽產(chǎn)品內(nèi)、外表面熱冷卻后，封結(jié)被抽產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空除氣工藝，其特征在于，在步驟3和步驟6中，充入的所述高純熱氮?dú)獾臏囟染鶠?0℃-100℃，并均在10-15min內(nèi)完成充氮；所述高純熱氮?dú)獾牡繛榇笥诨虻扔?9.999％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空除氣工藝，其特征在于，在步驟5中，所述抽真空主管道的末端壓強(qiáng)為5Pa-1Pa；排氣時(shí)間為2h。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空除氣工藝，其特征在于，在步驟7中，充氣結(jié)束后，使被抽產(chǎn)品在充入的熱氮?dú)庵谐掷m(xù)加熱升溫至140℃-155℃，悶氣時(shí)間1h。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空除氣工藝，其特征在于，在步驟8中，排氣時(shí)間優(yōu)選為1h。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空除氣工藝，其特征在于，在步驟10中，第四次悶氣時(shí)間控制為4h，第四次預(yù)抽真空的排氣時(shí)間為2h。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空除氣工藝，其特征在于，在步驟11中，優(yōu)選地，油擴(kuò)散泵不間斷抽高真空5h；所述間斷抽高真空的過程中，前兩次間斷抽高真空時(shí)，采用停抽6h，抽氣4h循環(huán)；第三次、第四次間斷抽高真空時(shí)，采用停抽8h，抽氣4h；第五次、第六次間斷抽高真空時(shí)，采用停抽10h，抽氣3h；第七次、第八次間斷抽高真空時(shí)，采用停抽12h，抽氣3h；第九次間斷抽高真空時(shí)，采用停抽17h，抽氣3h。