[發明專利]一種超高壓壓力傳感器

在審

• 申請號: 201810334790.5
• 申請日: 2018-04-15
• 公開（公告）號: CN108489659A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 徐雷;徐興才;嚴群豐
• 申請（專利權）人: 無錫盛賽傳感科技有限公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L19/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種超高壓壓力傳感器，包括傳感器殼體、導入嘴、第一膜片、壓力敏感元件、第二膜片、信號處理電路板、后蓋，傳感器殼體的頂部設有導入嘴安裝槽、中部設有圓臺型的通孔、底部設有后蓋安裝槽，通孔的頂端設有向上突出的第一膜片安裝座，第一膜片通過固定件固定安裝在第一膜片安裝座上，通孔的底端設有向下突出的第二膜片安裝座，第二膜片通過固定件固定安裝在第二膜片安裝座上，壓力敏感元件安裝在第二膜片的底端中部。本發明的有益效果是：通過設置減壓腔，減小第二膜片的彈性形變，使安裝在第二膜片底端的壓力敏感元件的感應信號隨第二膜片的形變而線性變化，進而滿足高壓測試的需求。

技術領域

本發明涉及壓力傳感器領域，尤其涉及一種超高壓壓力傳感器。

背景技術

壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。

近年來，隨著高壓加載新技術快速發展，超高壓力測量在軍工和民用方面都有著重要作用，由于高壓測試的需求越來越多、要求也越來越高，超高壓力的測試技術也在不斷的發展。但制作膜片的材料的彈性形變范圍是有限的，若壓力超過膜片的彈性形變范圍，膜片會發生塑性變形，壓力傳感器則被損壞；同時壓力敏感元件的感應信號隨形變的線性變化也是有限度的，超過這一限度壓力敏感元件的感應信號將不再是線性變化，從而導致測量不準確。而一些特定的壓力測試，由于要求壓力的加載面積很小，因此不適合直接增加膜片的橫截面積來減小元件的內部應力作用。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術存在的以上問題，提供一種超高壓壓力傳感器，通過設置減壓腔，減小第二膜片的彈性形變，使安裝在第二膜片底端的壓力敏感元件的感應信號隨第二膜片的形變而線性變化，進而滿足高壓測試的需求。

為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本發明通過以下技術方案實現：

一種超高壓壓力傳感器，包括傳感器殼體、導入嘴、第一膜片、壓力敏感元件、第二膜片、信號處理電路板、后蓋，所述傳感器殼體的頂部設有導入嘴安裝槽、中部設有圓臺型的通孔、底部設有后蓋安裝槽，所述導入嘴安裝在導入嘴安裝槽中，所述通孔的頂端設有向上突出的第一膜片安裝座，所述第一膜片通過固定件固定安裝在第一膜片安裝座上，所述通孔的底端設有向下突出的第二膜片安裝座，所述第二膜片通過固定件固定安裝在第二膜片安裝座上，所述第一膜片、通孔、第二膜片共同圍合成封閉的減壓腔，所述減壓腔中填充有氣體，所述壓力敏感元件安裝在第二膜片的底端中部，所述信號處理電路板安裝在后蓋安裝槽中且與壓力敏感元件電性連接，所述后蓋安裝在后蓋安裝槽的槽口處。

其中，所述導入嘴安裝槽的槽底處安裝有套在固定件外的第一橡膠圈，所述第一橡膠圈的頂端與導入嘴的底端相抵接。

其中，所述后蓋安裝槽的槽底處安裝有套在固定件外的第二橡膠圈，所述第二橡膠圈的底端與后蓋的頂端相抵接。

其中，所述導入嘴中心設置的導入孔正對第一膜片的中心。

其中，所述導入嘴的上部外側套有一圈不銹鋼連接環，所述導入嘴的材質為熱的不良導體。

其中，所述傳感器殼體的材質為熱的良導體。

其中，所述固定件為中間具有通孔的螺紋鋁蓋。

其中，所述減壓腔中填充的氣體為惰性氣體。

其中，所述第一膜片的彈性形變范圍大于第二膜片的彈性形變范圍。

本發明的有益效果是：通過設置減壓腔，減小第二膜片的彈性形變，使安裝在第二膜片底端的壓力敏感元件的感應信號隨第二膜片的形變而線性變化，進而滿足高壓測試的需求。

附圖說明