[發明專利]一種微型LED探針

在審

• 申請號: 201810333638.5
• 申請日: 2018-04-13
• 公開（公告）號: CN108814549A
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 劉召軍;覃麗環;王艷
• 申請（專利權）人: 南方科技大學
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種微型LED探針，其特征在于，包括探針頭和與所述探針頭連接的連接部；

所述探針頭包括有源面板、驅動電路、微型LED陣列和單光子雪崩二極管SPAD熒光探測器；所述驅動電路集成在所述有源面板的第一側面，包括多個呈陣列排布的驅動單元，所述微型LED陣列位于所述驅動電路遠離所述有源面板的一側，包括多個呈矩陣排布的微型LED；所述驅動單元與所述微型LED一一對應，每個所述驅動單元用于驅動對應所述微型LED；

所述SPAD熒光探測器集成在所述有源面板的第二側面，包括多個呈陣列排布的SPAD熒光探測元件，所述SPAD熒光探測元件與所述驅動單元一一對應。

2.根據權利要求1所述的微型LED探針，其特征在于，所述SPAD熒光探測元件包括SPAD、第一電阻和存儲元件；所述第一電阻的第一端與所述有源面板上的第一電壓線電連接，第二端與所述存儲元件的第一極以及所述SPAD的陰極電連接，所述存儲元件的第二極以及所述SPAD的陽極接地。

3.根據權利要求2所述的微型LED探針，其特征在于，所述存儲元件是第一電容。

4.根據權利要求2所述的微型LED探針，其特征在于，還包括第一包覆層，所述第一包覆層等厚包覆所述微型LED探針除所述微型LED以及所述SPAD之外的區域。

5.根據權利要求4所述的微型LED探針，其特征在于，所述第一包覆層的材料為聚對二甲苯Parylene C。

6.根據權利要求2所述的微型LED探針，其特征在于，還包括第二包覆層以及第三包覆層，所述第二包覆層等厚包覆所述探針頭除所述微型LED以及所述SPAD之外的區域，所述第三包覆層等厚包覆所述連接部。

7.根據權利要求1所述的微型LED探針，其特征在于，所述驅動單元包括第一晶體管、第二晶體管以及第二電容；所述第一晶體管的柵極與所述驅動單元的控制端電連接，所述第一晶體管的第一極與所述驅動單元的輸入端電連接，所述第一晶體管的第二極與所述第二晶體管的柵極以及第二電容的第一極電連接；所述第二晶體管的第一極和所述第二電容的第二極與所述有源面板上的第二電壓線電連接，所述第二晶體管的第二極與所述驅動單元對應的微型LED的陽極電連接；所述驅動單元對應的微型LED的陰極接地。

8.根據權利要求1所述的微型LED探針，其特征在于，所述微型LED的尺寸為5μm。

9.根據權利要求1所述的微型LED探針，其特征在于，所述探針頭的厚度為10μm。

10.根據權利要求1所述的微型LED探針，其特征在于，包括襯底，所述襯底包括第一子部和第二子部，所述第一子部為所述有源面板的襯底，所述第二子部為所述連接部的襯底；所述襯底的材料為柔性材料。

11.根據權利要求10所述的微型LED探針，其特征在于，所述柔性材料為Parylene C。