[發(fā)明專利]一種改進型α-β掃描方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810332815.8
• 申請日: 2018-04-13
• 公開（公告）號: CN108489393B
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉儉;由小玉;陳剛;王宇航;劉辰光;譚久彬
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué);南京譜銳西瑪儀器有限公司;北京銳馳恒業(yè)儀器科技有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 11465 北京慕達星云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 李冉

1.一種改進型α-β掃描方法，其特征在于，包括：

(a)使用波形發(fā)生器生成階躍信號u(t)輸入到檢流式振鏡系統(tǒng)中，使用示波器測量檢流式振鏡系統(tǒng)單位階躍響應(yīng)曲線g(t)；

(b)根據(jù)步驟(a)所測的單位階躍響應(yīng)曲線g(t)確定上升時間t_r和超調(diào)量σ_p大小，然后根據(jù)上升時間t_r和超調(diào)量σ_p計算無阻尼振蕩頻率ω₀和阻尼系數(shù)ξ，最終確定振鏡系統(tǒng)的傳遞函數(shù)

(c)根據(jù)步驟(b)中振鏡系統(tǒng)的傳遞函數(shù)H_GTS(s)確定振鏡系統(tǒng)的相位—頻率函數(shù)關(guān)系從而計算掃描頻率ω下延遲相位的大小

(d)將步驟(c)中計算的延遲相位作為檢流式振鏡控制信號α的初始相位，即作為檢流式振鏡控制信號β的初始相位，k為掃描軌跡圈數(shù)，Δr為控制信號幅值增量；

(e)將構(gòu)造的控制信號α和β輸入檢流式振鏡系統(tǒng)中，雙軸振鏡配合完成二維平面掃描；

(f)利用目標(biāo)軌跡重構(gòu)被測樣品掃描圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進型α-β掃描方法，其特征在于，所述目標(biāo)軌跡是在無相位延遲下的激光光斑軌跡，即使用初始相位0的α′＝kΔrsin(ωt)和初始相位為π/2的β′＝kΔrsin(ωt+π/2)重構(gòu)掃描圖像。