[發明專利]一種防凝固液槽、防凝固液槽系統和防凝固方法

有效

• 申請號: 201810330932.0
• 申請日: 2018-04-13
• 公開（公告）號: CN108636917B
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 陳偉;彭文武;陸巖
• 申請（專利權）人: 北京無線電測量研究所
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00;B05C11/11;B05C11/10
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

本發明涉及一種防凝固液槽、防凝固液槽系統和防凝固方法，液槽底部開設有出液口，液槽側壁靠下的位置上開設有進液口；液槽內形成有進液腔、儲液腔和出液腔，儲液腔上端為與外界連通的敞口，儲液腔下端與出液腔連通，出液腔下端與出液口連通；進液腔上端與儲液腔上端連通，進液腔下端與進液口連通。本發明的防凝固液槽，將液體從下至上流過進液腔進入儲液腔，再從上至下流過出液腔，使得液體在液槽內持續循環流動，液體不容易凝固；而且本發明的液槽的儲液腔上端為敞口結構，液槽結合外部循環操作后，對于粘度較大或較易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆過程中無法將液槽進行密閉處理的情況下，仍然能夠有效防止液槽中液體凝固。

技術領域

本發明涉及一種機械設備領域中的清洗設備或涂覆設備，具體涉及一種在清洗或涂覆操作時防止液槽中液體凝固的防凝固液槽、防凝固液槽系統和防凝固方法。

背景技術

對工件進行清洗或涂覆是半導體行業及其相關工業生產行業中廣泛應用的操作。在對工件進行清洗或涂覆操作時，若液槽中液體容易揮發凝固又無法將液槽進行密閉處理時，特別是液槽附近存在氣刀等容易引起液槽周邊空氣流動的裝置時，液槽內液體容易在表面凝固形成一層薄膜，且可能時間過長會直接在液槽中表干，嚴重影響后續清洗或涂覆質量，給使用者帶來不便。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種防凝固液槽、防凝固液槽系統和防凝固方法。

本發明解決上述技術問題的技術方案如下：一種防凝固液槽，所述液槽底部開設有出液口，所述液槽側壁靠下的位置上開設有進液口；所述液槽內形成有進液腔、儲液腔和出液腔，所述儲液腔上端為與外界連通的敞口，所述儲液腔下端與所述出液腔連通，所述出液腔下端與所述出液口連通；所述進液腔上端與所述儲液腔上端連通，所述進液腔下端與所述進液口連通。

本發明的有益效果是：本發明的防凝固液槽，通過設置進液腔、儲液腔和出液腔，并將液體從下至上流過進液腔進入儲液腔，再從上至下流過出液腔，使得液體在液槽內持續循環流動，液體不容易凝固；而且本發明的液槽的儲液腔上端為敞口結構，液槽結合外部循環操作后，對于粘度較大或較易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆過程中無法將液槽進行密閉處理的情況下，仍然能夠有效防止液槽中液體凝固。

在上述技術方案的基礎上，本發明還可以做如下改進。

進一步，所述進液腔包括從上至下依次設置的上進液緩沖腔、若干進液通道和下進液緩沖腔，若干所述進液通道豎向并排布置且相互獨立；若干所述進液通道的上端均與所述上進液緩沖腔連通，下端均與所述下進液緩沖腔連通；所述進液口與所述下進液緩沖腔連通，所述上進液緩沖腔與所述儲液腔上端連通。

采用上述進一步方案的有益效果是：進液腔設置為上進液緩沖腔、若干進液通道和下進液緩沖腔，一方面使液體均勻平緩的流入和流出，而且另一方面使得液體經過若干進液通道的分流，加強了液體的流動性和相互之間的黏著效果，進一步增強了防凝固效果。

進一步，所述上進液緩沖腔以及所述下進液緩沖腔的水平寬度均大于所述進液通道的水平寬度。

采用上述進一步方案的有益效果是：使進液緩沖腔的水平寬度大于進液通道的水平寬度，上下進液緩沖腔之間通過狹長的進液通道連通，使得液體經過上進液緩沖腔后，通過狹窄、細薄的排液口流出，排液口各點液體流速均勻，有效增強了進液腔內部和儲液腔上表面各點液體的流動性。

進一步，所述出液腔包括從上至下依次設置的若干出液通道和出液緩沖腔，若干所述出液通道豎向并排布置且相互獨立；若干所述出液通道的上端均與所述儲液腔下端連通，下端均與所述出液緩沖腔連通；所述出液口與所述出液緩沖腔連通。

采用上述進一步方案的有益效果是：出液腔設置為若干出液通道和下出液緩沖腔，一方面使儲液腔內各點液體均勻平緩的流入和流出，而且另一方面使得液體經過若干出液通道的分流，加強了儲液腔內各點液體的流動性和相互之間的黏著效果，進一步增強了防凝固效果。