[發明專利]無機薄膜壓電二極管及制作方法在審
| 申請號： | 201810329502.7 | 申請日： | 2018-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN108447978A | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發明（設計）人： | 王東興;苑丹妮;楊美中;張志文 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱理工大學 |
| 主分類號： | H01L41/08 | 分類號： | H01L41/08;H01L41/47;H01L41/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 150080 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 無機薄膜 壓電材料 二極管 壓電 導電溝道 薄膜層 襯底 二極管傳感器 肖特基接觸 壓電傳感器 工作電流 歐姆接觸 石英玻璃 壓電敏感 壓力測定 層厚度 鈣鈦礦 鈦鐵礦 沉積 測量 玻璃 制作 應用 制造 吸引 研究 | ||
【權利要求書】：
1.一種無機薄膜壓電二極管，其組成包括：石英玻璃襯底，所述的石英玻璃襯底上連接AL薄膜層，所述的Al薄膜層上連接導電溝道ZnO薄膜層，兩者之間形成非整流的歐姆接觸，所述的ZnO薄膜層上連接Ag薄膜層，兩者之間形成肖特基接觸，所述的Al薄膜層厚度為20nm，所述的導電溝道ZnO薄膜層厚度為120nm,所述的Ag薄膜層厚度為50nm。
2.根據權利要求1所述的無機薄膜壓電二極管傳感器在一定壓力的測定方面的應用，其特征是：利用無機薄膜的壓電特性，使用代表性無機材料氧化鋅，氧化鋅薄膜受到壓力，導帶發生傾斜，導致氧化鋅薄膜的導電率發生變化，從而使肖特基薄膜氧化鋅二極管的正向整流電流增加，當壓力去掉時，氧化鋅薄膜導帶又恢復到原來的狀態，通過測量氧化鋅壓電二極管工作電流的變化，實現一定的壓力的測量。
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