[發明專利]彈性膜、基板保持裝置及研磨裝置有效
| 申請號： | 201810326027.8 | 申請日： | 2018-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN109366344B | 公開（公告）日： | 2022-09-27 |
| 發明（設計）人： | 山木曉;福島誠;并木計介;鍋谷治;富樫真吾;大和田朋子;加藤良和 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 張麗穎 |
| 地址： | 日本國東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 彈性 保持 裝置 研磨 | ||
1.一種彈性膜，用于基板保持裝置，其特征在于，所述彈性膜具備：
抵接部，該抵接部抵接于基板；
圓環狀的側壁，該側壁直立設置于所述抵接部的外周端；
第一分隔壁，該第一分隔壁從與所述側壁連接的基端連接部朝向徑向內側直到頂端的第一密封突起為止以剖面觀看呈直線狀的方式延伸；及
第二分隔壁，該第二分隔壁從與所述抵接部的外周端部連接的基端連接部朝向徑向內側的上方直到頂端的第二密封突起為止以剖面觀看呈直線狀的方式延伸，
以所述第一分隔壁、所述第二分隔壁以及所述側壁構成用于按壓所述基板的邊緣的邊緣壓力室，
所述圓環狀的側壁的外周面是平坦的，
所述基板保持裝置具備頭主體，該頭主體供所述彈性膜安裝，
所述頭主體在所述第一分隔壁與所述第二分隔壁之間具備連結環，
所述連結環具有環傾斜部，該環傾斜部在所述第一分隔壁與所述第二分隔壁之間向徑向外側延伸且向下方傾斜，
所述第一分隔壁和所述第二分隔壁分別利用所述第一密封突起及所述第二密封突起保持于所述連結環。
2.如權利要求1所述的彈性膜，其中，
所述第一分隔壁與所述第二分隔壁的間隔從所述抵接部的徑向內側朝向徑向外側逐漸擴大。
3.如權利要求1所述的彈性膜，其中，
所述第一分隔壁與所述第二分隔壁的間隔從所述第一密封突起及所述第二密封突起朝向所述側壁逐漸擴大。
4.如權利要求1～3中任一項所述的彈性膜，其中，
所述第二分隔壁從比所述側壁的內周面靠內側0.5～1.5mm的位置呈直線狀延伸。
5.如權利要求1～3中任一項所述的彈性膜，其中，
在所述抵接部的上表面，所述第二分隔壁的外周面與所述側壁的內周面之間的距離為1.5～8mm。
6.如權利要求5所述的彈性膜，其中，
所述第二分隔壁連接于所述抵接部的上表面的基端部彎折而形成基端連接部，基端連接部的長度為0.5～3.5mm。
7.一種基板保持裝置，保持基板，其特征在于，所述基板保持裝置具備：
彈性膜；及
頭主體，該頭主體供所述彈性膜安裝，
所述彈性膜具備：
抵接部，該抵接部抵接于基板；
圓環狀的側壁，該側壁直立設置于所述抵接部的外周端；
第一分隔壁，該第一分隔壁從與所述側壁連接的基端連接部朝向徑向內側直到頂端的第一密封突起為止以剖面觀看呈直線狀的方式延伸；及
第二分隔壁，該第二分隔壁從與所述抵接部的外周端部連接的基端連接部朝向徑向內側的上方直到頂端的第二密封突起為止以剖面觀看呈直線狀的方式延伸，
以所述第一分隔壁、所述第二分隔壁以及所述側壁構成用于按壓所述基板之邊緣的邊緣壓力室，
所述圓環狀的側壁的外周面是平坦的，
所述頭主體在所述第一分隔壁與所述第二分隔壁之間具備連結環，
所述連結環具有環傾斜部，該環傾斜部在所述第一分隔壁與所述第二分隔壁之間向徑向外側延伸且向下方傾斜，
所述第一分隔壁和所述第二分隔壁分別利用所述第一密封突起及所述第二密封突起保持于所述連結環。
8.如權利要求7所述的基板保持裝置，其中，
所述第一分隔壁與所述第二分隔壁的間隔從所述抵接部的徑向內側朝向徑向外側逐漸擴大。
9.如權利要求7所述的基板保持裝置，其中，
所述第一分隔壁與所述第二分隔壁的間隔從所述第一密封突起及所述第二密封突起朝向所述側壁逐漸擴大。
10.如權利要求7～9中任一項所述的基板保持裝置，其中，
所述第二分隔壁從比所述側壁的內周面靠內側0.5～1.5mm的位置呈直線狀延伸。
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