[發明專利]一種超聲換能器聲阻抗匹配層及其制造方法在審
| 申請號: | 201810325844.1 | 申請日: | 2018-04-12 |
| 公開(公告)號: | CN108580241A | 公開(公告)日: | 2018-09-28 |
| 發明(設計)人: | 費春龍;楊新宇;劉志勇;李迪;楊銀堂 | 申請(專利權)人: | 西安電子科技大學;陜西博縱電子科技有限公司 |
| 主分類號: | B06B1/06 | 分類號: | B06B1/06;B06B3/00;G10K11/02 |
| 代理公司: | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人: | 陳新勝 |
| 地址: | 710071*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 聲阻抗匹配層 超聲換能器 聚焦透鏡表面 聲阻抗匹配 傳統工藝 方案工藝 非平面層 聲波傳輸 聲學透鏡 物理淀積 依次布置 研磨 聲阻抗 裸露 瓶頸 制造 | ||
1.一種超聲換能器的聲阻抗匹配層,其特征在于:包括依次布置的低密度聲速層和高密度聲速層,低密度聲速層由材料A構成,高密度聲速層由材料B構成,低密度聲速層與聚焦透鏡表面相連接,高密度聲速層裸露于空氣中或連接其他器件。
2.根據權利要求1所述的超聲換能器的聲阻抗匹配層,其特征在于:材料A為高分子樹脂材料。
3.根據權利要求1所述的超聲換能器的聲阻抗匹配層,其特征在于:材料B為金屬材料。
4.根據權利要求2所述的超聲換能器的聲阻抗匹配層,其特征在于:高分子樹脂材料為環氧、parylene中的任意一者構成。
5.根據權利要求3所述的超聲換能器的聲阻抗匹配層,其特征在于:金屬材料為金、銀、銅中的任意一者構成。
6.一種權利要求1所述的一種超聲換能器聲阻抗匹配層的制造方法,包括如下操作:
S1:測定超聲換能器的相關參數,確定超聲換能器聚焦透鏡的特征ZT(ZT=ρθ),計算輸入阻抗Zir;
S2:選擇材料A、材料B,測量材料A和材料B的性能參數,計算材料A和材料B的特征阻抗,采用MATLAB軟件,結合結果圖,選擇適應的數值解,確定高密度聲速層和低密度聲速層的厚度;
S3:在聚焦透鏡表面采用材料A鍍設低密度聲速層,然后再在低密度聲速層表面鍍設一層高密度聲速層。
7.根據權利要求6所述的超聲換能器聲阻抗匹配層的制造方法,其特征在于:超聲換能器的相關參數包括中心頻率f0、聚焦透鏡的特征阻抗ZT、外部媒介特征阻抗Zl。
8.根據權利要求6所述的超聲換能器聲阻抗匹配層的制造方法,其特征在于:材料A和材料B的主要性能參數包括密度ρ、波速θ。
9.根據權利要求6所述的超聲換能器聲阻抗匹配層的制造方法,其特征在于:低密度聲速層利用蒸發涂覆的方法鍍設。
10.根據權利要求6所述的超聲換能器聲阻抗匹配層的制造方法,其特征在于:高密度聲速層利用物理淀積的方法鍍設。
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