[發(fā)明專利]微型真空計及其工作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810324826.1 | 申請日： | 2018-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN108387341A | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 魏德波;候影;劉瑞文;傅劍宇;呂文龍;王瑋冰;陳大鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 昆山光微電子有限公司;中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 昆山中際國創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32311 | 代理人： | 張文婷 |
| 地址： | 215300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 懸臂梁 二極管 絕緣 真空計 基底 電阻 電學(xué) 連線 底座 串并聯(lián)方式 串聯(lián)電阻 底座四周 電性連接 基底固定 加工誤差 懸空固定 靈敏度 上側(cè)面 量程 容限 配置 兼容 檢測 靈活 制作 | ||
1.一種微型真空計，其特征在于：包括底座(1)、框架(2)、絕緣基底(3)、二極管(4)、電阻(5)、懸臂梁(6)和電學(xué)連線(7)，所述框架固定在所述底座四周，所述懸臂梁至少為兩個，所述懸臂梁的一端與所述絕緣基底固定連接，所述懸臂梁的另一端固定于所述框架的上側(cè)面上，至少兩個所述懸臂梁將所述絕緣基底懸空固定于所述框架上；所述二極管和電阻設(shè)于所述絕緣基底上，所述電學(xué)連線將所述電阻和二極管電性連接并從所述懸臂梁上引出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型真空計，其特征在于：所述底座為硅、石英或玻璃襯底。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型真空計，其特征在于：所述框架為絕緣結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型真空計，其特征在于：所述二極管為PN結(jié)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微型真空計，其特征在于：所述二極管為多個，多個二極管之間串聯(lián)或并聯(lián)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型真空計，其特征在于：所述電阻為多晶硅、金屬電阻和加工產(chǎn)生的寄生電阻其中之一，數(shù)量為一個或多個，并與所述二極管串聯(lián)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型真空計，其特征在于：所述懸臂梁為絕緣梁。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微型真空計，其特征在于：所述懸臂梁為L型。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型真空計，其特征在于：所述電學(xué)連線為多晶硅、金屬或多種材料構(gòu)成，并置于所述懸臂梁中。
10.一種如權(quán)利要求1至9中任一項所述的微型真空計的工作方法，其特征在于：若所述二極管工作在恒定偏置電流下，則所述微型真空計通過電學(xué)連線測所述二極管兩端電壓與真空度的關(guān)系，獲得真空度信息；若所述二極管工作在恒定偏置電壓下，則所述微型真空計通過電學(xué)連線測所述二極管電流與真空度的關(guān)系，獲得真空度信息。
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