[發明專利]掃描型探針顯微鏡

有效

• 申請號: 201810324335.7
• 申請日: 2018-04-12
• 公開（公告）號: CN108732386B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 大田昌弘
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291
• 代理人: 楊楷;毛立群

1.一種掃描型探針顯微鏡，懸臂的一端作為固定端，另一端作為可動端，使設置于懸臂的該可動端的探針的前端接近并接觸試樣表面后，使該探針前端從該試樣表面脫離，在此過程中測量該懸臂的撓曲量而進行力曲線測量，其特征在于，具備：

a)位置變更機構，在Z方向以及X方向與Y方向上，使該固定端與該試樣表面的位置相對地變化，所述Z方向為所述固定端與所述試樣表面接近以及遠離的方向，所述X方向與Y方向垂直于該Z方向；

b)撓曲量測量機構，測量所述懸臂的撓曲量；

c)Z方向移動距離檢測機構，在所述固定端相對于該試樣表面從規定的初始位置相對地移動到所述探針前端與所述試樣表面接觸且所述撓曲量達到規定值為止的期間，檢測所述固定端相對于所述試樣表面在Z方向上的移動距離，所述規定的初始位置是測量開始時設置在X-Y平面中的一定的位置的所述固定端在Z方向上的位置；

d)初始位置變更機構，當所述固定端相對于所述試樣表面在Z方向上的所述移動距離低于作為Z方向上的移動距離的規定的下限值時，將所述初始位置變更為更遠離所述試樣表面的位置，當所述移動距離超過作為Z方向上的移動距離的規定的上限值時，將所述初始位置變更為更接近所述試樣表面的位置。

2.如權利要求1所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，所述下限值以及所述上限值為相同值。

3.如權利要求1或權利要求2所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，所述位置變更機構為使所述固定端與所述試樣表面接近而移動Z方向位置時，若在所述撓曲量達到規定值之前該位置已到達規定的極限位置，則所述Z方向移動距離檢測機構檢測所述初始位置與所述極限位置之間的距離并作為所述在Z方向上的移動距離。