[發(fā)明專利]掩膜板及其制備方法和OLED薄膜封裝工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810323997.2
• 申請(qǐng)日: 2018-04-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108441839B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳疆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山夢(mèng)顯電子科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/04
• 分類號(hào): C23C16/04;H01L51/52
• 代理公司: 蘇州攜智匯佳專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32278
• 代理人: 尹麗

1.一種掩膜板，用于OLED薄膜封裝工藝，包括：

鏤空部，所述鏤空部包括用以在基板上形成薄膜封裝層的開(kāi)孔，形成薄膜封裝層的區(qū)域?yàn)楸∧し庋b區(qū)域；

遮蓋部，所述遮蓋部用以遮蓋所述基板的非薄膜封裝區(qū)域；

其特征在于：所述遮蓋部上設(shè)有朝向所述基板方向突伸的凸肋，當(dāng)所述掩膜板與所述基板對(duì)位時(shí)，所述凸肋與所述基板相抵接，所述遮蓋部具有朝向所述開(kāi)孔的第一側(cè)壁，所述凸肋包括靠近所述開(kāi)孔設(shè)置的第一凸肋，所述第一凸肋具有朝向所述薄膜封裝區(qū)域的第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁共面；所述凸肋在所述基板上的正投影面積小于所述遮蓋部在所述基板上的正投影面積；所述遮蓋部具有朝向所述開(kāi)孔的第一側(cè)壁和朝向所述基板的第三側(cè)壁，所述凸肋設(shè)置在所述第三側(cè)壁上，定義所述第一側(cè)壁與所述第三側(cè)壁的公共邊的延伸方向?yàn)榈谝环较颍鐾估甙拷霰∧し庋b區(qū)域設(shè)置的第一凸肋，在所述第一方向上，所述第一凸肋的長(zhǎng)度與所述第一側(cè)壁的長(zhǎng)度相等。

2.一種掩膜板的制備方法，用于制備如權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，包括如下步驟：

S11，提供母板，利用噴墨打印設(shè)備在所述母板上噴涂光刻膠；

S21，提供光罩，將所述光罩放置于所述母板上方，所述光罩包括透光區(qū)和不透光區(qū)，將所述母板劃分為顯示區(qū)域與非顯示區(qū)域，所述透光區(qū)與所述顯示區(qū)域相對(duì)應(yīng)，所述不透光區(qū)與所述非顯示區(qū)域相對(duì)應(yīng)，對(duì)所述顯示區(qū)域的光刻膠進(jìn)行曝光、顯影處理，以在所述顯示區(qū)域形成開(kāi)孔；

S31，反應(yīng)去除所述非顯示區(qū)域的剩余光刻膠，采用干刻工藝對(duì)所述非顯示區(qū)域的表面進(jìn)行刻蝕，以在所述非顯示區(qū)域形成凸肋，得到掩膜板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板的制備方法，其特征在于：在所述步驟S31中，所述剩余光刻膠為與所述不透光區(qū)對(duì)應(yīng)的光刻膠。

4.一種掩膜板的制備方法，用于制備如權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，包括如下步驟：

S12，提供母板，利用噴墨打印設(shè)備在所述母板上噴涂光刻膠；

S22，提供光罩，將所述光罩放置于所述母板上方，所述光罩包括透光區(qū)和不透光區(qū)，將所述母板劃分為顯示區(qū)域與非顯示區(qū)域，所述透光區(qū)與所述顯示區(qū)域相對(duì)應(yīng)，所述不透光區(qū)與所述非顯示區(qū)域相對(duì)應(yīng)，對(duì)所述顯示區(qū)域的光刻膠進(jìn)行曝光、顯影處理，以在所述顯示區(qū)域形成開(kāi)孔；

S32，反應(yīng)去除所述非顯示區(qū)域的剩余光刻膠，采用光刻工藝在所述非顯示區(qū)域形成凸肋，得到掩膜板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板的制備方法，其特征在于：在所述步驟S32中，所述剩余光刻膠為與所述不透光區(qū)對(duì)應(yīng)的光刻膠。

6.一種OLED薄膜封裝工藝，其特征在于：所述OLED薄膜封裝工藝使用的掩膜板是權(quán)利要求1所述的掩膜板。