[發(fā)明專利]真空泵裝置及用于真空泵裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810321818.1
• 申請(qǐng)日: 2018-04-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108691769B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林介元;巖崎弘一;大須賀透;石井勇次;河嶌浩康;島田圣二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號(hào): F04C28/06
• 分類號(hào): F04C28/06;F04C25/02;F04C23/02
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 張麗穎

1.一種真空泵裝置，具備主泵和增壓泵，所述真空泵裝置的特征在于，

所述主泵和所述增壓泵分別具備進(jìn)氣口和排氣口，所述主泵的進(jìn)氣口與所述增壓泵的排氣口連通，所述增壓泵的進(jìn)氣口是所述真空泵裝置的進(jìn)氣側(cè)，主泵的排氣口是所述真空泵裝置的排氣側(cè)，

所述真空泵裝置具備：

指示接受部，該指示接受部接受用于使所述主泵啟動(dòng)的啟動(dòng)指示或者用于使所述主泵停止的停止指示，并且輸出開(kāi)關(guān)信號(hào)；

主泵逆變器，該主泵逆變器接受被輸出的所述開(kāi)關(guān)信號(hào)而使所述主泵啟動(dòng)或者停止，并且輸出用于指示所述增壓泵的啟動(dòng)/停止的啟動(dòng)/停止信號(hào)；以及

增壓泵逆變器，該增壓泵逆變器對(duì)從所述主泵逆變器輸出的啟動(dòng)/停止信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)而使所述增壓泵啟動(dòng)或者停止。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵裝置，其特征在于，

所述主泵逆變器構(gòu)成為：能夠在所述主泵啟動(dòng)之后輸出用于指示所述增壓泵的啟動(dòng)的啟動(dòng)信號(hào)，所述增壓泵逆變器構(gòu)成為：基于從所述主泵逆變器輸出的所述啟動(dòng)信號(hào)來(lái)判定是否啟動(dòng)所述增壓泵，進(jìn)而啟動(dòng)所述增壓泵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵裝置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述啟動(dòng)指示時(shí)，所述增壓泵逆變器判定為能夠啟動(dòng)所述增壓泵，并且啟動(dòng)所述增壓泵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵裝置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述啟動(dòng)指示之后，并且經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間時(shí)，所述增壓泵逆變器判定為能夠啟動(dòng)所述增壓泵，并且啟動(dòng)所述增壓泵。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空泵裝置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述啟動(dòng)指示之后，并且經(jīng)過(guò)所述規(guī)定時(shí)間且所述主泵的轉(zhuǎn)速為規(guī)定數(shù)以上時(shí)，所述增壓泵逆變器判定為能夠啟動(dòng)所述增壓泵，并且啟動(dòng)所述增壓泵。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空泵裝置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述啟動(dòng)指示之后，并且經(jīng)過(guò)所述規(guī)定時(shí)間且所述主泵的轉(zhuǎn)速為規(guī)定數(shù)以上，并且驅(qū)動(dòng)所述主泵的馬達(dá)的電流值為規(guī)定值以下時(shí)，所述增壓泵逆變器判定為能夠啟動(dòng)所述增壓泵，并且啟動(dòng)所述增壓泵。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的真空泵裝置，其特征在于，

所述真空泵裝置具備增壓泵停止部，在所述指示接受部接受所述停止指示而所述主泵停止時(shí)，該增壓泵停止部基于所述停止指示來(lái)判定是否停止所述增壓泵，并且停止所述增壓泵。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵裝置，其特征在于，

所述真空泵裝置具備：

增壓泵異常檢測(cè)部，該增壓泵異常檢測(cè)部對(duì)所述增壓泵的異常進(jìn)行檢測(cè)；以及

增壓泵異常時(shí)停止部，在所述增壓泵異常檢測(cè)部檢測(cè)到所述增壓泵的異常時(shí)，該增壓泵異常時(shí)停止部使所述增壓泵停止，而不使所述主泵停止。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的真空泵裝置，其特征在于，

所述真空泵裝置具備：

主泵異常檢測(cè)部，該主泵異常檢測(cè)部對(duì)所述主泵的異常進(jìn)行檢測(cè)；以及

異常時(shí)停止部，在所述主泵異常檢測(cè)部檢測(cè)到所述主泵的異常時(shí)，該異常時(shí)停止部停止所述主泵和所述增壓泵。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的真空泵裝置，其特征在于，

所述真空泵裝置具備信號(hào)輸入部，從外部向該信號(hào)輸入部輸入用于控制所述主泵及/或所述增壓泵的轉(zhuǎn)速的信號(hào)。

11.一種用于真空泵裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)控制方法，該真空泵裝置具備主泵和增壓泵，所述運(yùn)轉(zhuǎn)控制方法的特征在于，

所述主泵和所述增壓泵分別具備進(jìn)氣口和排氣口，所述主泵的進(jìn)氣口與所述增壓泵的排氣口連通，所述增壓泵的進(jìn)氣口是所述真空泵裝置的進(jìn)氣側(cè)，主泵的排氣口是所述真空泵裝置的排氣側(cè)，

所述運(yùn)轉(zhuǎn)控制方法具備：

接受用于使所述主泵啟動(dòng)的啟動(dòng)指示的步驟；以及

在接受所述啟動(dòng)指示而使所述主泵啟動(dòng)時(shí)，基于所述啟動(dòng)指示來(lái)判定是否啟動(dòng)所述增壓泵，將用于使所述增壓泵啟動(dòng)的信號(hào)經(jīng)由信號(hào)線從主泵逆變器輸出到增壓泵逆變器，進(jìn)而啟動(dòng)所述增壓泵的步驟。