[發(fā)明專利]一種頻率可調(diào)的寬帶紅外隔離元件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810320850.8 | 申請日： | 2018-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN108490540B | 公開（公告）日： | 2020-02-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉志軍;李春雨;吳志明;蔣亞東 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學(xué) |
| 主分類號： | G02B6/124 | 分類號： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 51229 成都正華專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人： | 何凡 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 隔離元件 石墨烯層 金屬光柵 頻率可調(diào) 硅襯底 寬帶 分層結(jié)構(gòu) 工作頻段 光學(xué)元件 有效解決 元件成本 光隔離 夾角為 介質(zhì)膜 金屬條 透光率 正負(fù)極 電源 | ||
1.一種頻率可調(diào)的寬帶紅外隔離元件，其特征是：所述隔離元件從下到上依次為硅襯底、金屬光柵、介質(zhì)膜和石墨烯層，所述石墨烯層和硅襯底分別與電源的正負(fù)極相連接；其中，石墨烯層上開設(shè)有“工”字形孔，所述“工”字形孔與所述金屬光柵中的金屬條之間的夾角為45°；所述金屬光柵的周期為440nm，金屬條的寬度為200nm；所述硅襯底為N摻雜或P摻雜硅片，摻雜濃度為1017～1018cm-3。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頻率可調(diào)的寬帶紅外隔離元件，其特征是：所述金屬光柵中金屬條的材質(zhì)為金、銀、銅、鐵或鋁。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頻率可調(diào)的寬帶紅外隔離元件，其特征是：所述介質(zhì)膜為對紅外光透明的薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的頻率可調(diào)的寬帶紅外隔離元件，其特征是：所述介質(zhì)膜為ZnSe介質(zhì)膜或CaF2介質(zhì)膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的頻率可調(diào)的寬帶紅外隔離元件，其特征是：所述介質(zhì)膜的厚度為1.85μm。
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