[發(fā)明專利]一種行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810320767.0
• 申請日: 2018-04-11
• 公開（公告）號: CN108306548B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫翔宇;杜亦佳;代剛;陳余;弓冬冬
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: H02N2/16
• 分類號: H02N2/16;H02N2/12
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 程華

1.一種行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括環(huán)形支撐框和放置于所述環(huán)形支撐框內(nèi)的圓環(huán)體，所述環(huán)形支撐框與所述圓環(huán)體通過若干個支撐梁連接；所述圓環(huán)體由上到下分別為第一電極層和基體，所述第一電極層包括若干個呈環(huán)形排列的扇環(huán)形電極，相鄰兩個所述扇環(huán)形電極間具有間隔，所述扇環(huán)形電極的外徑小于所述基體的外徑；所述基體的側(cè)壁設(shè)置有若干個凹槽，所述凹槽的開口處位于所述扇環(huán)形電極的中線以及相鄰兩個所述扇環(huán)形電極的交界線上，若干個所述支撐梁均勻分布；所述支撐梁為6個，所述扇環(huán)形電極為12個，所述凹槽為24個；所述支撐梁一端連接在所述凹槽的開口處，另一端連接在所述環(huán)形支撐框上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述環(huán)形支撐框外側(cè)還與行波微馬達的基片相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述基體由上到下分別為PZT薄膜、第二電極層和硅層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐梁呈直線型或彎折型。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述環(huán)形支撐框由上到下分別為PZT薄膜、第二電極層和硅層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述圓環(huán)體與所述環(huán)形支撐框的底部平齊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的行波微馬達的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述環(huán)形支撐框的高度與所述基體的高度相等。